KJLC 354 Ion Gauge 产品说明书_原创精品文档.docxVIP

PAGE

1-

KJLC354IonGauge产品说明书

一、产品概述

KJLC354IonGauge是一款高性能的电子探针设备，主要用于精确测量真空环境中的压力。该设备采用了先进的离子探测技术，具有高灵敏度、高精度和稳定的性能特点。它广泛应用于科研机构、半导体制造、航天航空、石油化工等领域，为用户提供可靠的真空环境监测解决方案。

KJLC354IonGauge的设计理念是以用户需求为核心，注重产品的实用性和易用性。其紧凑的外观设计，不仅节省了实验室空间，同时也便于携带和安装。该设备采用模块化设计，用户可以根据实际需求选择不同的配件，以适应不同的工作环境。

KJLC354IonGauge具备丰富的功能特性，如自动校准、数据记录、远程监控等。自动校准功能可以确保设备的长期稳定性，而数据记录功能则允许用户对实验数据进行实时记录和存储，便于后续分析和处理。远程监控功能则可以实现远程数据传输和控制，极大地方便了用户的操作。此外，KJLC354IonGauge还具备良好的抗干扰能力和适应各种复杂环境的性能，能够为用户提供稳定可靠的测量结果。

二、技术规格

(1)KJLC354IonGauge的测量范围为1×10^-6Torr至1×10^-3Torr，能够满足各种真空环境的压力测量需求。例如，在半导体制造过程中，该设备可以用于监测清洗槽的真空度，确保清洗效果。

(2)该设备的灵敏度达到0.1Torr，能够快速响应真空环境中的压力变化。在实验室测试中，KJLC354IonGauge在1×10^-4Torr的真空度下，响应时间仅需几秒钟，确保实验数据的实时性。

(3)KJLC354IonGauge的精度高达±2%FS，重复性误差小于0.5%。在航天航空领域，该设备被用于监测火箭发射前的真空环境，其高精度保证了火箭发射的顺利进行。此外，设备还具备抗电磁干扰能力，适用于各种复杂环境。

三、安装与使用指南

(1)安装KJLC354IonGauge前，请确保设备所在的环境温度在0°C至40°C之间，相对湿度不大于85%。安装过程中，请先将设备放置在平稳的台面上，确保其水平。连接电源时，请使用符合规格的电源线，确保电源电压与设备要求相符。例如，在实验室环境中，安装时需注意电源线长度不超过5米，以避免信号干扰。

(2)使用前，请对KJLC354IonGauge进行预热，预热时间约为30分钟。预热过程中，设备会自动进行自检，确保各部件正常工作。预热完成后，开启设备，进入主界面。在此界面中，用户可以设置测量范围、数据记录时间等参数。例如，在半导体生产线上，用户可设置测量范围为1×10^-6Torr至1×10^-3Torr，以满足不同工艺段的真空度要求。

(3)在使用过程中，请定期检查设备的校准状态。根据设备说明书，建议每半年进行一次校准。校准过程中，将标准压力源连接至设备，调整设备上的校准参数，使读数与标准压力源相符。例如，在航天航空领域，设备校准后，其测量精度可达±2%FS，确保了火箭发射前真空环境的准确监测。此外，使用过程中，请注意避免剧烈震动和碰撞，以免影响设备性能。