机械工程测试技术基础传感器.ppt

四、湿敏传感器能感受气体中水蒸气含量，并转换成可用输出信号的传感器。湿敏电阻的特点是在基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜，当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时，元件的电阻率和电阻值都发生变化，利用这一特性即可测量湿度。湿敏电阻的种类很多，例如金属氧化特湿敏电阻、硅湿敏电阻、陶瓷湿敏电阻等。湿敏电阻的优点是灵敏度高，主要缺点是线性度和产品的互换性差。第28页,共50页，星期六，2024年，5月五、CCD固态图象传感器MOS(MetalOxideSemiconductor)光敏元的结构是在半导体(P型硅)基片上形成一种氧化物(如二氧化硅)，在氧化物上再沉积一层金属电极，以此形成一个金属-氧化物-半导体结构元(MOS)。第29页,共50页，星期六，2024年，5月CCD（Charge-coupledDevice）：电荷耦合元件，它是一种半导体器件，能把光学影像转化为数字信号。CCD由阵列式MOS组成，如果照射在这些光敏元上的是一幅明暗起伏的图像，则这些光敏元上就会感生出一幅与光照强度相对应的光生电荷图像。第30页,共50页，星期六，2024年，5月特点:(1)非接触检测; (2)响应快;(3)可靠性高,为修简便; (4)测量精度高;(5)体积小,重量轻;容易与计算机连接(6)对被测物体需要强光照射;(7)受被测物体以外的光的影响。应用:(1)宽度测量;(2)外径测量;(3)主轴径向跳动测量.?????????????????????????????????????????第31页,共50页，星期六，2024年，5月相机中CCD与3CCD的比较第32页,共50页，星期六，2024年，5月GREY=RED*0.299+GREEG*0.587+BLUE*0.114数码相机第33页,共50页，星期六，2024年，5月第八节红外测试系统一、红外辐射红外辐射俗称红外线，它是一种不可见光，位于可见光中红色光以外的光线。波长范围大致在0.76～1000μm，相对应频率大致在HZ之间红外线在电磁波谱中的位置如图所示。工程上又把红外线所占据的波段分为四部分，即近红外、中红外、远红外和极远红外。13251000……（μm）第34页,共50页，星期六，2024年，5月红外辐射的物理本质是热辐射，一个炽热物体向外辐射的能量大部分是通过红外线辐射出来的。物体的温度越高，辐射出来的红外线越多，辐射的能量就越强。红外光的本质与可见光或电磁波性质一样，它在真空中也以光速传播，并具有明显的波粒二相性。红外辐射在大气中传播时，大气层对不同波长的红外线存在不同的吸收带，有三个波段透过率高，它们是2～2.6μm、3～5μm和8～14μm，统称它们为“大气窗口”。这三个波段对红外探测技术特别重要，因此红外探测器一般都工作在这三个波段（大气窗口）之内。第35页,共50页，星期六，2024年，5月E：某物体在温度T时单位面积和单位时间的红外辐射总能量。σ：斯蒂芬-波尔兹曼常数，5.6697×10-12w/cm2k4ε:比辐射率，即物体表面辐射本领与黑体辐射本领之比。T：物体的绝对温度。斯蒂芬-波尔兹曼定律：物体红外辐射的能量与它自身的绝对温度T的四次方成正比，并与ε成正比。物体温度越高辐射能量越大。斯蒂芬-波尔兹曼定律这是红外检测技术应用的理论基础。另由普朗克定律知：工程上辐射体温度如在2000K以下，则热辐射主要是红外辐射，低温或常温态的种种物体都会产生红外辐射。第36页,共50页，星期六，2024年，5月二、红外探测器红外探测器是将辐射能转换成电能的一种传感器。红外探测器的种类很多，按探测机理的不同，分为热探测器和光子探测器两大类。1热探测器工作机理：利用红外辐射引起探测元件的温度变化。主要有四类：热释电型、热敏电阻型、热电偶型和气动型。2光子探测器工作原理：半导体材料的光电效应。光子探测器的主要特点是灵敏度高，响应速度快，具有较高的响应频率，但探测波段较窄，一般需在低温下工作。第37页,共50页，星期六，2024年，5月热电偶型：将热电偶结点涂上黒层置于辐射中，可根据产生的热电动势来测量入射辐射功率的大小。多采用热电堆型（由多个热电偶的