真空技术基础与等离子体.pptVIP

磁控溅射等离子体磁道靶冷却水磁体磁控溅射靶平衡和非平衡磁控溅射的比较非平衡技术提高轰击工件的离子电流离子束与离子源离子注入的比较离子在固体中形成的位移峰注入剂量低时，浓度分布满足高斯分布单击此处添加小标题注入剂量高时，峰值向表面移动单击此处添加小标题能量损失单击此处添加小标题蒸发镀膜（蒸镀）单击此处添加副标题，文字是您思想的提炼，为了演示发布的良好效果，请言简意赅地阐述您的观点。您的内容已经简明扼要，字字珠玑，但信息却千丝万缕、错综复杂，需要用更多的文字来表述；但请您尽可能提炼思想的精髓，否则容易造成观者的阅读压力，适得其反。正如我们都希望改变世界，希望给别人带去光明，但更多时候我们只需要播下一颗种子，自然有微风吹拂，雨露滋养。恰如其分地表达观点，往往事半功倍。当您的内容到达这个限度时，或许已经不纯粹作用于演示，极大可能运用于阅读领域；无论是传播观点、知识分享还是汇报工作，内容的详尽固然重要，但请一定注意信息框架的清晰，这样才能使内容层次分明，页面简洁易读。如果您的内容确实非常重要又难以精简，也请使用分段处理，对内容进行简单的梳理和提炼，这样会使逻辑框架相对清晰。单击添加大标题单击此处添加副标题，文字是您思想的提炼，为了演示发布的良好效果，请言简意赅地阐述您的观点。您的内容已经简明扼要，字字珠玑，但信息却千丝万缕、错综复杂，需要用更多的文字来表述；但请您尽可能提炼思想的精髓，否则容易造成观者的阅读压力，适得其反。正如我们都希望改变世界，希望给别人带去光明，但更多时候我们只需要播下一颗种子，自然有微风吹拂，雨露滋养。恰如其分地表达观点，往往事半功倍。当您的内容到达这个限度时，或许已经不纯粹作用于演示，极大可能运用于阅读领域；无论是传播观点、知识分享还是汇报工作，内容的详尽固然重要，但请一定注意信息框架的清晰，这样才能使内容层次分明，页面简洁易读。如果您的内容确实非常重要又难以精简，也请使用分段处理，对内容进行简单的梳理和提炼，这样会使逻辑框架相对清晰。单击添加大标题溅射沉积Ar离子轰击负电位的金属表面金属原子Ar离子电子影响溅射率S的主要因素入射离子种类：大质量、稀有气体S高入射离子能量：阈值、注入入射离子角度：40－50o靶材种类：周期变化，d层充满，溅射率大工作气压：气压低，S不变，气压高，S随之减小表面温度：一定温度内不变，温度过高，急剧增大氩离子对不同元素的溅射产额单击此处添加副标题，文字是您思想的提炼，为了演示发布的良好效果，请言简意赅地阐述您的观点。您的内容已经简明扼要，字字珠玑，但信息却千丝万缕、错综复杂，需要用更多的文字来表述；但请您尽可能提炼思想的精髓，否则容易造成观者的阅读压力，适得其反。正如我们都希望改变世界，希望给别人带去光明，但更多时候我们只需要播下一颗种子，自然有微风吹拂，雨露滋养。恰如其分地表达观点，往往事半功倍。当您的内容到达这个限度时，或许已经不纯粹作用于演示，极大可能运用于阅读领域；无论是传播观点、知识分享还是汇报工作，内容的详尽固然重要，但请一定注意信息框架的清晰，这样才能使内容层次分明，页面简洁易读。如果您的内容确实非常重要又难以精简，也请使用分段处理，对内容进行简单的梳理和提炼，这样会使逻辑框架相对清晰。单击添加大标题等离子体表面工程日常见到的等离子体有哪些01什么是等离子体02如何获得等离子体03等离子体的性质和特点04气体分子电离，带电粒子密度达到一定数值的电离气体05闪电和极光，太阳，日光灯，电弧06辉光放电、各种能量场07等离子体的特点PART1分子无规则运动和等离子体中

离子的定向运动物质的能量范围PART1电子温度和离子温度单个粒子平均动能多种粒子同时存在，不可能用一个统一的温度来描述。同类粒子碰撞能量交换最有效，各粒子自身先平衡。电子温度Te，离子温度Ti，中性粒子温度Tg，等离子体温度取决于重粒子温度。温度单位：电子伏特eV，TeV＝kT，1eV相当于T=11600K电子在离子静电势场中的平均势能电子温度和离子温度Te=Ti：热平衡等离子体，简称为热等离子体（Thermalplasma)TeTi：非平衡等离子体（Nonthermalplasma)。电子温度104K以上，重粒子温度可低至300~500K，也称为低温等离子体（Coldplasma)辉光放电时Te＝10eV?105K，但Ti只有数百K，带电粒子密度只有109~1013cm-3，宏观温度可以很低。等离子体温度和气压的关系等离子体类型与P/E的依赖关系01p—气压02E—电场强度各种等离子体的电子密度、电子温度和气体温度非平衡等离子体与平衡等离子体的比