透射电镜原理.pptVIP

明场像和暗场像成像机理只有晶体试样形成的衍衬像才存在明场像与暗场像之分。它不是表面形貌的直观反映，是入射电子束与晶体试样之间相互作用后的反映。第31页，共45页，星期日，2025年，2月5日SrTiO3陶瓷TEM明场像SrTiO3陶瓷TEM暗场像明场像与暗场像实物图片第32页，共45页，星期日，2025年，2月5日*制样与应用第33页，共45页，星期日，2025年，2月5日*透射电镜专用铜网支持膜超薄碳膜小于10nm的粒子微栅管状、棒状、纳米团聚物普通碳膜形貌观察第34页，共45页，星期日，2025年，2月5日*支持膜的分类无孔碳支持膜系列碳支持膜：碳支持膜厚度10-20nm，具有抗热性和导电性，推荐选用230目载网纯碳支持膜：当必须使用有机溶剂作为分散剂时选择，碳支持膜厚度20-40nm，适合观察10nm以上的样品，推荐选用400目载网薄纯碳支持膜：当必须使用有机溶剂或高温下处理的特殊样品，碳支持膜厚度7-10nm，适合分散性较好，带有机包覆层的核壳结构之类的纳米材料样品超薄碳支持膜：碳膜厚度3-5nm，适合观察10nm以下，分散性较好的纳米材料，有孔碳支持膜系列微栅支持膜：能达到无背底观察的效果，推荐选用230目载网纯碳微栅支持膜、FIB微栅支持膜等非碳材料支持膜无碳方华膜、镀金、镀锗支持膜等第35页，共45页，星期日，2025年，2月5日关于透射电镜原理第1页，共45页，星期日，2025年，2月5日透射电镜简介第2页，共45页，星期日，2025年，2月5日概念：透射电子显微镜（TransmissionElectronMicroscope，TEM）是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。简史：1933年，德国科学家卢斯卡（Ruska）和克诺尔（Knoll）研制出了世界上第一台透射电镜，到今天，透射电镜已经诞生了70多年，由电镜应用而形成的交叉性学科——电子显微学已经日趋完善，电镜的分辨能力也比最初时提高了超过100倍，达到了亚埃级，并且在自然科学研究中起到日益重要的作用。1.1概念及简史第3页，共45页，星期日，2025年，2月5日

1.2.1自然光与电子束的波长

可见光的波长在390～760nm电子波长：取V=100kV，理论得到电子波长为0.0037nm1.2分辨率：为什么采用电子束做为光源?第4页，共45页，星期日，2025年，2月5日1.2.2显微镜的分辨率通常人眼的分辨本领大概是0.2mm（即人眼可分辨的两点间最小距离为0.2mm）显微镜可分辨的两点间的最小距离，即为显微镜的分辨率λ是照明束波长，α是透镜孔径半角，n是物方介质折射率，n·sinα或N·A称为数值孔径。第5页，共45页，星期日，2025年，2月5日采用物镜的孔径角接近90度考虑采用可见光波长极限390nm的光束照明显微镜系统，可得d约为200nm对于TEM在100kV加速电压下，波长0.0037nm，d约为0.002nm，目前电子显微镜达不到其理论极限分辨率，最小分辨率达到0.1nm第6页，共45页，星期日，2025年，2月5日1.2.3有效放大倍数光学显微镜必须提供足够的放大倍数，把它能分辨的最小距离放大到人眼能分辨的程度。相应的放大倍数叫做有效放大倍数，它可由下式来确定：第7页，共45页，星期日，2025年，2月5日光学显微镜的有效放大倍数透射电镜的有效放大倍数由上面公式可以直接得出，光学显微镜的有效放大倍数远小于透射电镜。电子图像的放大倍数为物镜、中间镜和投影镜的放大倍数之乘积，即M=M.Mr.Mp。第8页，共45页，星期日，2025年，2月5日透射电子显微镜（简称透射电镜，TEM）可以以几种不同的形式出现：高分辨透镜（HRTEM）：JEM2100，点分辨率：0.23nm，晶格分辨率：0.14nm，最小束斑尺寸0.5nm透射扫描电镜（STEM）:利用磁透镜将电子束聚焦到样品表面并在样品表面快速扫描，通过电子穿透样品成像，既有透射电子显微镜功能，又有扫描电子显微镜功能的一种显微镜。分析型电镜(AEM):JEM2010HF，点分辨率:0.25nm,晶格分辨率:0.19nm,最小束斑尺寸1.5nm1.3分类第9页，共45页，星期日，2025年，2月5日按加速电压分类：200KV为低压透射电