MEMS微悬臂梁结构单片集成器件：从原理、设计到应用与挑战.docx

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2025-03-09 发布于上海
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MEMS微悬臂梁结构单片集成器件：从原理、设计到应用与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技迅猛发展的浪潮中，微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）作为多学科交叉融合的前沿领域，正深刻改变着众多行业的技术格局。MEMS技术将微电子技术与微机械加工技术相结合，能够制造出集微型传感器、执行器、信号处理和控制电路于一体的微型机电系统，具有微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产等显著特点，已广泛应用于国防、医疗、航空航天、汽车、通信等诸多领域。

MEMS微悬臂梁结构作为MEMS器件中的关键基础结构，犹如基石之于高楼