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典型电镜照片的比较金颗粒三氧化二铁第31页，共57页，星期日，2025年，2月5日单晶，多晶与非晶的比较使用电镜的电子衍射功能可以判断样品的结晶状态：单晶为排列完好的点阵。多晶为一组序列直径的同心环。非晶为一对称的球形。第32页，共57页，星期日，2025年，2月5日电子晶片电子衍射电子波动性与统计规律的联系第33页，共57页，星期日，2025年，2月5日单晶，多晶与非晶的电子衍射图第34页，共57页，星期日，2025年，2月5日一些样品的电镜照片高分子球碳棒MCM41第35页，共57页，星期日，2025年，2月5日一些样品的电镜照片Ni晶粒催化剂表面Co颗粒第36页，共57页，星期日，2025年，2月5日不同温度下TiO2晶粒生长的情况第37页，共57页，星期日，2025年，2月5日纤维，角形和花状的电镜照片第38页，共57页，星期日，2025年，2月5日球表面的Au，氧化镧，Fe2O3第39页，共57页，星期日，2025年，2月5日Zn粒，Al2O3，单壁碳管第40页，共57页，星期日，2025年，2月5日关于电子显微技术第1页，共57页，星期日，2025年，2月5日6.4透射电镜的结构通常透射电镜组成电子光学系统、电源系统、真空系统、循环冷却系统和控制系统其中电子光学系统是电镜的主要组成部分。6.4电子显微技术—TEM第2页，共57页，星期日，2025年，2月5日透射电镜的结构透射电镜电子光学系统是一种积木式结构，上面是照明系统、中间是成像系统、下面是观察与记录系统。第3页，共57页，星期日，2025年，2月5日透射电子显微镜工作原理及构造图透射电子显微镜光路原理图第4页，共57页，星期日，2025年，2月5日6.4.1照明系统照明系统主要由电子枪和聚光镜组成。电子枪是发射电子的照明光源。聚光镜：把电子枪发射出来的电子会聚而成的交叉点,进一步会聚后照射到样品上。照明系统作用:提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。第5页，共57页，星期日，2025年，2月5日照明系统(292)灯丝和阳极间加高压，栅极偏压起会聚电子束的作用，使其形成直径为d0会聚/发散角为?0的交叉热电子枪示意图交叉点处电子束直径约几十个微米第6页，共57页，星期日，2025年，2月5日双聚光镜照明系统光路图聚光镜:用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照明强度、孔径角和束斑大小。第一聚光镜是强激磁透镜，束斑缩小率为10～50倍左右，将电子枪第一交叉点束斑缩小为1～5μm第二聚光镜是弱激磁透镜，适焦时放大倍数为2倍左右。结果在样品平面上可获得2～10μm的照明电子束斑。1～5μm第7页，共57页，星期日，2025年，2月5日从聚光镜到物镜第8页，共57页，星期日，2025年，2月5日透射电镜的主要部件---样品台样品台作用:承载样品，使样品能作平移、倾斜、旋转，以选择感兴趣的样品区域或位向进行观察分析。透射电镜的样品:放置在物镜的上下极靴之间，样品很小，通常是直径3mm的薄片。第9页，共57页，星期日，2025年，2月5日样品台与试样第10页，共57页，星期日，2025年，2月5日6.4.2成像系统成像系统主要由物镜、中间镜和投影镜组成。成像系统的两个基本操作是将衍射花样或图像投影到荧光屏上。第11页，共57页，星期日，2025年，2月5日物镜物镜:用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。电镜的分辨本领:主要取决于物镜。因为物镜的任何缺陷都被成像系统中其它透镜进一步放大。欲获得物镜的高分辨率，必须尽可能降低像差。通常采用强激磁，短焦距的物镜。物镜是一个强激磁短焦距的透镜，它的放大倍数较高，一般为100-300倍。目前，高质量的物镜其分辨率可达0.1nm左右。第12页，共57页，星期日，2025年，2月5日物镜物镜的分辨率：主要取决于极靴的形状和加工精度。极靴的内孔和上下级之间的距离越小，分辨率就越高。减少物镜的球差：往往在物镜的后焦面上安放一个物镜光阑。物镜光阑：减少球差，像散和色差的作用，可以提高图像的衬度。物镜光阑位于后焦面的位置上时，可方便的进行暗场及衬度成像的操作。在用电子显微镜进行图像分析时，物镜和样品之间和距离总是固定不变的，（即物距L1不变）。因此改变物理学镜放大倍数进行成像时，主要是改变物镜的焦距和像距（即f