洁净室压力控制：原理方法与实践优化探究.docx

洁净室压力控制：原理、方法与实践优化探究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代工业的迅猛发展，对生产环境的要求日益严苛，洁净室作为一种能够提供高度洁净、低风尘、低微生物特殊环境的场所，在众多高新技术领域中占据着举足轻重的地位。在微电子领域，如芯片制造过程中，微小的尘埃粒子都可能导致芯片短路或性能下降，据统计，在芯片生产过程中，每立方英尺空气中大于0.1微米的粒子数若超过1000个，芯片的次品率将显著上升。在生物医药领域，药品的研发、生产对环境的洁净度和稳定性要求极高，微生物和尘埃的污染可能使药品质量受到严重影响，甚至危害患者生命健康。例如在疫苗生产过程中，若洁净室环境控制不当，引