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AlGaN基深紫外LED：制备工艺、性能优化与应用前景

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，半导体发光二极管（LED）作为一种新型的固态光源，以其节能、环保、寿命长、响应速度快等诸多优势，在照明、显示、光通信等众多领域得到了广泛应用。其中，AlGaN基深紫外LED因其能够发射波长在200-280nm的深紫外光，展现出独特的应用价值，成为了当前半导体光电器件领域的研究热点之一。

在杀菌消毒领域，深紫外光具有高效的杀菌能力。紫外线可以破坏细菌、病毒和真菌等微生物的核酸（DNA/RNA）分子结构，从而使其失去生物活性，达到消杀的目的。特别是在新冠疫情全球爆发之后，人们