《液晶显示制造技术》课件——洁净控制技术.pptxVIP

洁净控制技术;;01;课程导入;02;洁净室要长时间地保持洁净等级要求，光有净化设施还远远不够，因为只要在洁净室中进行生产活动就需要有生产用的设备、材料产品的传递和操作人员等，净化设施还要进行维护、修理和监测。这一切或多或少都会带来一些尘埃，形成一个新的污染源，不断地破坏洁净的环境。;为了保证洁净室的工艺环境要求，使净化设备正常运行，应建立设备维修、保养等完整的管理措施和记录，定期地对设备进行检查、维修、保养、清扫等，建立设备台账并记录运行状态。;为了确保洁净室内的环境符合规定要求，对室内一切设施、工装、工具、物品必须按有关规定检查确认。室内所有物品数量都应限制在最少的限度，并对物品的放置作出定以尽量减少空气乱流。;对洁净室的洁净度、温度、湿度的监测是维持洁净等级的必不可少的措施。在规定的条件下，用尘埃粒子计数器和温度、湿度测定器对洁净室进行测试，是十分重要的工作，测试中要时刻记录测试结果并与标准值进行比较。对于超出标准值的参数，要及时通知控制室进行调整。;进入洁净室的人员必须穿戴专用的净化服。净化服采用特殊布料制作，其本身不易产尘、不吸附尘埃、耐磨、密度高、可阻挡人体携带的尘埃泄漏，它具有导电性从而避免衣服上积累电荷，同时穿着舒适，透气性好，且易于清洗。专用服要有专用保管框存放，而且不同洁净等级人员的专用服要分别定期清洗，洗涤条件要有特殊规定，它不同于我们日常服装的清洗，必须保证洗后的服装不能再次污染，不能损伤衣服，洗涤的环境要满足洁净室的要求。;进入洁净室工作的人员应符合下述条件：;在洁净室工作的人员首先要接受净化专业知识的教育，培养遵守净化规定的习惯，保持个人清洁卫生，掌握洁净服更换程序。在洁净室工作的人员还应遵守如下规定：

①进入洁净室，必须按规定穿戴洁净服，穿洁净服不能出洁净室。

②进入洁净室不能携带个人用品，如饮料、食品、手绢、手纸、化妆品、笔记本、装饰品等；严禁携易燃易爆物品，如烟草、火柴、打火机等。

③应按规定路线进入洁净室，需过风淋室必须风淋，在洁净室内不能跑动，鞋不能拖地走路，避免带起尘埃。

④在高洁净区内的人数不能超过规定数，因为人是洁净区的主要发尘源，所以操作的动作要规范，不做无关动作，不讲与作业无关的话。

⑤在洁净室内不能打闹、喧哗。

⑥饮酒后不能进入洁净室，吃饭或抽烟后30min内不能进洁净室。;03;液晶显示器是通过液晶屏内的液晶材料在一定的电场变化条件下，发生液晶分子方向变化而形成显示图形的。可是液晶显示器的盒间隙极其微小，只有5~8μm。而人类头发丝的直径一般是几十微米，空气中能够看到的粉尘一般也是在十几微米以上，同时还有许多人们看不到的更小的尘埃，如10μm以下的尘埃。如果在制作LCD时，有一些看得见或看不见的尘埃、杂质落在液晶屏内，那么这些液晶屏就会被污染，造成其显示的缺陷。;;尘埃污染对液晶显示器的前制作过程危害极大，在光刻工序中的涂光刻胶、曝光等工序中如果有尘埃落在掩膜版上，就会在显影、刻蚀中造成短路、断路、针孔等缺陷。;温度的影响主要体现在两个方面：一是温度直接影响工艺参数；二是不适当的温度可能造成化学试剂分解、变质，从而使其性能失效。液晶显示器的生产要使用许多化学药品，在工艺中有的工序涉及化学反应，需要用温度严格控制。;湿度：是指空气中水汽含量的大小。

湿度过大对产品的影响主要体现在产品器件的可靠性降低和性能下降。生产中的一些主要材料极易吸潮，如封框胶、取向剂、垫片、玻璃等，吸潮后它们的性能会明显下降，有的甚至不能使用。如取向剂吸收了空气中的水分后，就会发生变质，严重时有沉淀物生成，无法使用。封框胶和玻璃吸潮后其密封性会下降，黏接强度明显降低，会出现开胶漏气等现象，同时其功耗增高，显示会出缺陷。

环境中湿度过低，也会带来不利影响：一是制作过程中易产生静电，静电增加会使器件的性能下降；二是操作人员在湿度过低的环境中长时间操作会感到身体不适，影响生产效率。洁净室内的湿度一般控制在（55±5）%RH。;;谢谢观看