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半导体生产企业设备备件管理探讨

【摘要】浅析半导体生产企业备品备件管理的目的性和内容,介绍备品备件的分类及重要备件缺乏时的应急措施等内容.以半导体行业中设备备件管理作为研究对象,对业内备品备件管理模式进行了探讨,并据此提出合理化建议.

1引言

半导体行业隶属于电子信息产业，属于硬件产业。由于近年来我国半导体产业如雨后春笋般崛起，半导体产品的利润也从原来的“暴发户”降格为“平民”，各大半导体生产企业纷纷挖掘产能来弥补价格落差带来的困境。要使得半导体生产设备满负荷、高质量地正常运行，半导体生产设备的备品备件管理是其中一个重要环节。备件一般分为两类，一类是制造企业为了保证不间断生产进行预先采购和贮备的零部件相关产品，一类是企业为保证售后服务所采购储备的零部件产品[1]；对于半导体企业来说需要管理的主要是第一类备件，本文以中微掩模电子有限公司（下文简称中微掩模）为例探讨了半导体公司生产设备备件管理问题。公司备件主要包括周期性更换的耗材类备件、机台重要备件以及通用类备件。中微掩模是一家从事

0.13μm水平掩模制作和服务的专业公司，随着市场发展，公司订单迅速增加，

设备机台已趋于满负荷运转，因此，公司在追求市场份额和销售量的同时也需要对备件管理给予足够的重视。为了建立一套合理高效的备件系统，我们需要了解公司备件的特点，主要有以下3点。

（1）多样性；组成机台设备的零部件众多，而且价值差异大，这些特点增加了对备件的管理难度。

（2）不确定性；除了周期性需要更换的备件可以做到精确掌控，其他可以造成机台宕机的关键性备件的更换周期难以确定。

（3）渠道单一性；公司关键设备的备件主要由维保厂商提供，因此采购周期较长。备品备件管理主要实现3点目标：（1）通过对设备备品备件的采购、翻新和库存以增加机台稳定性、延长机台使用寿命；（2）当机台出现故障或问题时，确保必要的备件在手，从而减少机台的宕机时间；（3）减少备件库存费用。我们根据公司生产的特性建立备件管理控制系统并定期按照以上3点进行回顾。

2公司备件管理组织结构

由于公司备件存在多样性、不确定性的特点，因此备件管理系统需要多个部门协同完成。公司备件主要组织结构如图1所示。

图1备件管理组织结构

（1）计划采购部，负责备件和零部件的采购，接受由工程组提出的备件采购申请，评估采购计划并负责和供应商沟通，保证交货周期。

（2）工程组，工程组设备工程师负责替换备件，并保证设备正常开机；工艺工程师负责设备开机后的工艺调整和工艺验收并完成验收报告；采购计划专员根据需求负责确定备件储存定额，做好备件月度计划、季度计划以及年度计划预测。

（3）质量保障部，负责确保备件可用性以及备件的质保售后。

3备品备件的分类管理

设备备品备件的管理首先是备品备件的分类管理。设备备品备件分类为需要和不需要的备品备件；不需要的备品备件应该及时清理（磨损损坏了的备件、升级过后不再用的备件等）；需要使用的备品备件可以根据备品备件的使用特性再次分类为：

（1）周期性更换的备品备件[2]；

（2）以防机台突然故障配备的备品备件[2]；

（3）一般通用备品备件（螺丝、螺母、电阻、电容等）[2]；

（4）经过overhaul，自助/外协维修后可以再次使用的备品备件[2]。

3.1一般通用备品备件的管理

一般通用的备品备件完全可以由最大/最小库存量来控制，而最大库存量根据使用情况进行持续优化，最小库存量根据使用情况和订购周期来决定。

3.2周期性备品备件管理

首先需要制订出PM计划和PM备件更换清单，根据机台使用情况及工艺要求，细分到每周、每2周、每月、每季度、半年、年度维护计划和更换备品备件清单。执行已经制订好的PM计划和备品备件更换清单的同时，需要有一个持续改进项目围绕着PM计划和备品备件更换。

对于PM计划，需要设备工程师、工艺工程师、操作技术员全员参加，在PM周期内设备工程师需要关注和记录PM易耗件随着使用时间的延长影响设备的各项重要参数；工艺工程师需要关注和记录PM易耗件随着使用时间的延长，设备的各项工艺参数是否影响产品质量；操作技术员需要关注、记录和向设备/工艺工程师反映设备的各种异常及影响生产效率等的问题。有了这些PM周期内设备运行状态的记录，工艺工程师可以根据PM易耗件的使用情况，随时调整工艺参数以满足产品要求；设备工程师根据PM易耗件的使用情况，可以优化PM周期，优化和调整更换备件清单。

对于PM更换备品备件清单优化项目，可以分为两个部分，一部分从节约备品备

件成本出发，设备备品备件