2025年份第一季度半导体晶圆车间防静电地板电阻值检测规范.docx

2025年半导体晶圆车间防静电地板电阻值检测规范

?本合同共二部分组成，仅供学习使用，第一部分如下：

鉴于甲方_____________（公司名称）与乙方_____________（公司名称）为规范半导体晶圆车间防静电地板电阻值检测工作，保障生产环境安全及产品质量，依据《中华人民共和国合同法》《电子工业防静电设计规范》及相关技术标准，双方协商一致，订立本规范。

第一条定义与术语

1.1防静电地板：指铺设于半导体晶圆车间内，表面电阻值范围为_____________Ω至_____________Ω，符合_____________（标准编号）的地面材料。

1.2检测点：指根据车间平面图划分的检测区域，每_____________平方米设置不少于_____________个检测点位，具体分布见附件一。

1.3电阻值异常：指检测结果超出本规范第五条规定的允许范围。

第二条检测范围与周期

2.1检测范围涵盖甲方位于_____________（省/市）_____________（区/县）_____________（详细地址）的_____________号车间，总面积_____________平方米。

2.2常规检测周期为每_____________个月一次，首次检测日期为_____________年_____________月_____________日。

（1）车间设备布局重大调整后；

（2）防静电地板局部维修或更换后；

（3）甲方发现疑似电阻值异常情况。

第三条检测设备与标准

3.1乙方需使用经国家计量机构校准的检测设备，包括但不限于：

（1）型号_____________的电阻测试仪，精度不低于_____________%；

（2）检测电极规格：直径_____________mm，重量_____________kg。

3.2检测环境要求：温度_____________℃至_____________℃，相对湿度_____________%至_____________%。

3.3检测方法依据_____________（标准名称及编号），检测时电极间距为_____________mm，加压时间不少于_____________秒。

第四条检测前准备

（1）清理检测区域杂物，确保地面无覆盖物；

（2）关闭区域内强电磁干扰设备；

（3）提供车间平面图及近期温湿度记录。

4.2乙方需在检测前_____________小时向甲方提交检测方案，包括人员分工、设备清单及安全措施。

第五条检测结果判定

5.1合格标准：单点电阻值介于_____________Ω至_____________Ω，区域平均电阻值偏差不超过_____________%。

5.2若单点电阻值超出允许范围但未超过_____________Ω，乙方需在_____________小时内复测并记录；若复测仍不合格，按第六条处理。

第六条异常处理与整改

6.1乙方应在检测结束后_____________小时内向甲方提交书面报告，列明异常点位、数据及初步原因分析。

6.2甲方应在收到报告后_____________个工作日内决定是否要求乙方进行整改。整改方案需包括：

（1）更换材料的品牌、型号及电阻值范围；

（2）施工周期及验收标准；

（3）费用承担方式：_____________。

第七条检测报告内容

（1）检测日期、时间及环境参数；

（2）检测设备校准证书编号；

（3）各检测点电阻值数据表及分布图；

（4）与历史数据的对比分析。

7.2报告需加盖乙方检测专用章及检测人员签名，一式_____________份提交甲方。

第八条甲方权利与义务

8.1甲方有权派_____________名代表全程监督检测过程。

8.2甲方应按时支付检测费用，不得无故扣减或拖欠。

8.3甲方应确保乙方人员进出车间的权限及必要的安全防护条件。

第九条乙方权利与义务

9.1乙方应按照约定时间完成检测，因甲方原因导致延误的，工期顺延。

9.2乙方对检测数据的真实性负责，不得伪造或篡改数据。

9.3乙方需为检测人员购买保额不低于_____________万元的人身意外保险。

第十条检测费用与支付

10.1常规检测费用为每次_____________元（含税），临时检测费用另行协商。

10.2甲方应于收到乙方发票后_____________日内支付至乙方指定账户：

开户行：_____________

账户名称：_____________

账号：________