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洁净室气流流型检测方法及分类介绍

洁净室气流流型是指洁净室内空气的流动形态和分布，它受到多

因素的影响，如设备布局、送风方式、回风方式等，从而形成不同

的气流流型。洁净室气流流型检测的重要性在于确保洁净室的正常运

行和无尘效果，通过选择和改善气流流型，增强洁净室的自净能力,

缩短自净时间，从而保证洁净室中的空气质量符合要求。

一、洁净室气流流型检测方法

洁净室气流流型检测方法主要包括气流目测和气流流向的测试。

这些方法的应用确保了洁净室的气流流型符合规定要求，从而保证产

品的质量和安全性。

1气流目测：

可以采用示踪线法、发烟（雾）法和采用图像处理技术等方法。

示踪线法使用轻质纤维如尼龙单丝线、棉线、薄膜带等，放置在

测试杆的末端或装在气流中细丝格栅上，直接观察气流的方向和因干

扰引起的波动。

发烟（雾）法使用去离子水，通过固态二氧化碳（干冰）或超声波雾

化器生成直径为0.5〜5011m的水雾，或者使用四氯化钛（TiC14）作示

踪粒子，但需确保洁净室、室内设备以及操作人员不受四氯化钛产生

的酸伤害。

采用图像处理技术时，利用数字计算机和二维空气流速度矢量提

供量化的气流特性。

2气流流向：

一般采用三维法测量气流速度等方法。

采用三维法测量气流速度时，使用热球风速计或超声风速计，检

测点选择在关键工作区及其工作面高度。

此外，对于单向流气流流型检测，可以在距离过滤器表面

150-500mm的距离定义测试平面，在房间其它关键区域产生烟雾，观

察气流流型并用照相机或摄像机进行拍摄。

对于非单向流气流流型检测，使用气流流型烟雾发生器在送风口

及回风口附近产生气流，在强光照明下观察烟雾方向和流动模式，同

时用照相机或摄像机进行拍摄。

二、洁净室气流流型分类

常见的洁净室气流流型包括单向流、非单向流和混合流等。

单向流洁净室的气流流型呈均匀的线性形状，空气通过高效过滤

器进入房间，由两侧的活动地板或隔墙返回。这气流流型有利于迅

速有效地排除污染物，维持室内生产环境所要求的空气洁净度等级。

非单向流洁净室的气流流型又可分为顶送下回、顶送下侧回、顶送顶

回等。非单向流的净化原理是基于稀释原理，通过高效过滤器送风口

顶部送风，回风的型式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不

同送风换气次数，实现不同的净化级别，其初投资和运行费用也不同。

混合流洁净室是将垂直单向流和非单向流两气流组合在一起构成

的气流流型。这气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小，用大

面积非单向流替代大面积单向流，以利于节省初投资和运行费。