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感应加热气泡驱动隔热型微泵的优化与实验探索：性能提升与机理研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着微机电系统（MEMS）技术的飞速发展，微流控系统在生物医学、化学分析、环境监测、航空航天等众多领域展现出了巨大的应用潜力。在微流控系统中，微泵作为核心部件，承担着驱动微流体定向流动的关键任务，其性能优劣直接关乎整个微流控系统的工作成效。

微泵的驱动方式丰富多样，常见的有压电驱动、静电驱动、电磁驱动、电渗驱动、电化学驱动以及热气泡驱动等。不同驱动方式各有千秋，压电驱动微泵具有结构简易、驱动力强、响应迅速、能耗较低、效率较高等长处，然而其驱动电压偏高、振幅较小，自吸存在困难，在一定程度上限制了