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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（10）申请公布号
CN106876262A
（43）申请公布日2017.06.20
（21）申请号CN201611253968.0
（22）申请日2016.12.30
（71）申请人常州星海电子股份有限公司
地址213022江苏省常州市新北区天目湖路1号
（72）发明人黄小锋
（74）专利代理机构常州市维益专利事务所(普通合伙)
代理人杨闯
（51）Int.CI
H01L21/304;
H01L21/306;
H01L21/3105;
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称
一种制作高效玻璃钝化芯片工艺
（57）摘要
本发明公开了一种制作高效玻璃钝化芯片
工艺,步骤如下,在做完硼、磷扩散的硅片晶圆的
磷面与硼面分别覆上光刻胶并进行无线条曝光；
选择金刚石划片刀,从晶圆硼面中部下刀,在晶圆
硼面的横向与纵向进行切割开槽,横向与纵向的沟
槽之间围合成单个晶体芯片,并依次进行混合酸腐
蚀、去胶清洗、烘干、玻璃钝化、镀镍、电性能
测试、划片、裂片,以获得单个二极管芯片。本工
艺制出的二极管芯片具有优势:保证芯片尺寸不
变,可明显增加芯片有效面积,从而使芯片VF大大
减小,提高其正向浪涌能力,减少发热量,延长芯片
使用寿命；保证芯片有效面积不变,能保证更小尺
寸芯片的电参数性能符合要求,从而提高硅片利用
率,降低成本保持市场竞争力。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
2017-06-20公开公开
2017-06-20公开公开
2017-06-20公开公开
2017-07-14实质审查的生效实质审查的生效
2017-07-14实质审查的生效实质审查的生效
2019-10-25授权授权
权利要求说明书
一种制作高效玻璃钝化芯片工艺的权利要求说明书内容是请下载后查看
说明书
一种制作高效玻璃钝化芯片工艺的说明书内容是请下载后查看
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