基于SPPs的MIM波导结构研究与设计.pdf

摘要

摘要

表面等离极化激元（SurfacePlasmonPolaritoms，SPPs）是指当外部入射光和

金属表面的自由电子频率一致时，在金属-介质（Metal-Insulator，MI）界面产生的

一种集体振荡现象。其光场的能量主要集中在MI界面，且呈指数形式衰减。由于

其独特的光学特性，可以打破传统的光学衍射的限制，且在深亚波长尺寸范围内高

度局域化，可以为器件小型化、集成化提供一定的可能。基于金属-介质-金属

（Metal-Insulator-Metal，MIM）结构的波导具有易加工、高度集成、损耗小、可靠

性高等优点，可以很好的应用于片上微纳光学器件，因此受到了人们的广泛关注。

与此同时，基于SPPs的MIM波导可以形成Fano共振，Lorentz共振，等离子体

诱导透明现象（PlasmonicallyInducedTransparency，PIT）等，可以很好的应用于

传感、滤波、慢光等领域。本文我们主要研究了基于SPPs的MIM波导折射率传

感器，将其应用于生物传感领域。同时，考虑到其优秀的等离子体诱导透明特性，

将其应用于慢光器件，延迟线等微纳器件中。本文的主要研究工作如下：

（1）研究设计了一种基于钥匙形可独立调谐的折射率传感器，并将其应用于

生物传感领域，用于检测血浆的浓度。通过使用AnsysLumericalFDTD软件对该

结构的光谱响应进行仿真，并利用多模耦合模式理论（MultimodeInterferometric

CoupledModeTheory，MICMT）进行理论分析。将仿真结果和理论计算结果进行

对比，其结果保持高度一致。通过控制变量法，分析几何参数的变化对透射光谱的

影响。紧接着，对该结构的传感性能进行了计算，可以得到该结构的最大灵敏度（S）

*

可以达到1520nm/RIU，最大品质因子（FOM）可以达到195.89。由于其优秀的传

感性能，可以将其应用于生物传感领域，用来检测人体血浆的浓度。通过仿真分析，

其血浆传感器的最大灵敏度可以达到3.07nm·L/g，具有较高的检测灵敏度。

（2）研究设计了一种基于D形谐振腔的折射率传感器，同时由于其存在的等

离子体诱导透明效应，考虑将其应用于慢光器件中。通过使用COMSOL

Multiphysics软件将其电磁仿真过程进行模拟，得到其结构的光谱响应。接下来将

数值计算结果和理论结果进行对比，其结果保持高度一致，验证了其仿真结果的正

确性。此外，还分析了结构参数变化对其光谱响应的影响。对于该结构的传感特性

*

我们也进行了相应的分析，其最大灵敏度可以达到1300nm/RIU，最大FOM值可

以达到181.44。紧接着我们对该结构的慢光特性进行了相应的研究，其最大群延迟

可以达到0.24ps，最大群速度可以达到48.93。此外还对D形谐振腔的个数和群延

迟、群速度之间的关系进行了分析，并考虑将其应用于延迟线中。

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摘要

本文研究设计了两种基于SPPs的MIM波导结构器件，并将其应用于折射率

传感器、生物传感器、慢光器件以及延迟线等微纳光学器件中，为微纳光学器件的

集成化，小型化以及多功能化提供了一定的参考价值。

关键词：表面等离极化激元；折射率传感器；生物传感；群延迟；MIM波导

II

Abstract

Abstract

SurfacePlasmonPolaritoms(SPPs)arecollectiveoscillationsattheMetal-Insulator

(MI)interfacewhenth