半导体气敏元件.pdf

第期总第期()机械工程与自动化1

1128No1

年月1

20052MECHANICALENGINEERINGAUTOMATIONFeb

文章编号2()22

:16726413200501010503

半导体气敏元件

吴义炳

(福建农林大学机电学院福建福州,350002)

摘要首先介绍半导体气敏元件的工作原理然后从制备工艺、基材现状、测量方法三方面进行了综述。:,

关键词半导体气敏元件制备工艺:;;

中图分类号1文献标识码

:TN30492:A

0引言使电阻下降。

随着纳米技术的发展与该项技术相结合的半导,空气中的氧成分大体上是恒定的因而氧的吸附,

体气敏器件由于具有灵敏度高、响应时间和恢复时间量也是恒定的气敏器件的阻值大致保持不变。如果,

短、使用寿命长及成本低等优点被广泛应用于检测被测气体流入这种气氛中器件表面将产生吸附作用,,,

各种有害气体、可燃气体、工业废气和环境污染气体。器件的阻值将随气体浓度而变化从浓度与阻值的变,

气敏元件是检测环境气氛中某种或某类气体化关系即可得知被测气体的浓度。()

存在及其含量的基础。气敏元件性能与敏感材料的种2半导体超微粒粉体制备方法

类、结构及制作工艺密切相关。本文首先简单介绍半半导体超微粒粉体制备的方法有很多主要分为,

导体气敏传感器的工作原理然后着重从制备工艺、基气相、液相、固相三类。各种基材的制备方法类似由,,

材现状、测量方法三方面进行综合性论述。于SnO是最早使用也是目前使用最广泛的一种气敏

2

1半导体气敏元件的工作原理材料现就以,SnO为例讲述其主要的制备方法。

2

半导体气敏传感器是利用待测气体与半导体主(1从气体中合成超微粒方法

21SnO