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基于3D打印和游标效应的微纳光纤折射率传感器

摘要

近年来，随着科技水平的快速发展，对传感器的传感性能要求日益增高，光纤传感

器凭借其灵敏度高，抗干扰能力强被广泛应用于工业结构监测、生物医学和环境监测等

领域，伴随着双光子聚合3D打印技术的日渐完善，利用其在光纤端面上加工的微纳光

纤传感器具有集成度高、体积小、稳定性强等优势，因而被学者们广泛关注，成为热门

的研究热点之一，同时，利用游标效应原理可以增加传感器对外界感知的灵敏度。为此，

本文采用双光子聚合3D打印打工技术为主要手段，以光学游标效应的增敏原理为理论

支撑，设计并加工出微纳光纤传感器对外界环境的折射率和温度进行传感分析。全文的

主要内容及研究成果如下所示：

（1）提出了一种基于微环谐振器原理的微环型光纤传感器。传感器由半环型波导

和两个沿环切向连接的波导构成，其中半环型波导和切向波导由聚合物构成，通过双光

子聚合3D打印技术加工在单模光纤的平整端面上，这种方法与光刻、飞秒激光微加工

等传统方法相比，精度和稳定性更高，表面更光滑，光在传感器中传输时发生的散射更

小。同时，通过理论分析和实验分别研究了微环型光纤传感器的折射率传感特性和温度

传感特性。

（2）为满足传感器日益所需的集成化需求，提出了一种基于级联游标效应的微环

型光纤传感器。传感器由两个具有微小差值的自由光谱范围（FreeSpectralRange，FSR）

的微环型波导构成，在单微环型光纤传感器的基础上多添加了一个半环型波导，同时，

也通过理论分析和实验分别研究了级联微环型光纤传感器的折射率传感特性和温度传

感特性，并将其与单微环光纤传感器的传感特性进行比较。结果表明，级联微环光纤传

感器的折射率灵敏度相较于单微环光纤传感器得到了大幅度提升，而温度灵敏度缺得到

了减弱，这是由于每个单独传感器处于相同的外界环境下，并且谐振波长随外界环境改

变漂移方向相同，因此产生减弱型游标效应，使传感器级联后的灵敏度小于单个传感器

的灵敏度，这可以有效地降低温度的交叉敏感度。

（3）此外，将每个单独传感器分别作为参考干涉仪和传感干涉仪放置于不同的环

境，或者谐振波长随外界环境改变漂移方向相不同，可产生增强型游标效应对折射率和

温度进行测量，因此，提出了一种基于并联游标效应的微环型光纤传感器，其中一个干

涉仪的结构与单微环传感器相同，另一个为采用传统制法的光纤法布里-玻罗干涉仪

（Fabry-PerotInterferometer，FPI），两者的谐振波长随外界环境改变漂移方向相不同，

哈尔滨工程大学专业学位硕士学位论文

采用实验的方法进行验证，其折射率灵敏度和温度灵敏度相较于单微环光纤传感器都得

到了大幅度提升。

关键词：双光子聚合3D打印；游标效应；折射率传感；温度传感

基于3D打印和游标效应的微纳光纤折射率传感器

Abstract

Inrecentyears,withtherapiddevelopmentofthelevelofscienceandtechnology,the

sensingperformanceofthesensorrequirementsareincreasinglyhigh,fiberopticsensorsby

virtueofitshighsensitivity,anti-interferenceabilityiswidelyusedinindustrialstructure

monitoring,biomedicineandenvironmentalmonitoringandotherfields,accompaniedbythe

two-photonpolymerizationof3Dprintingtechnologyisimproving,theuseofwhichinthe

fiberopticend-faceprocessingofthemicro-nanofiberopticsensors