面向多轴干涉镜组装配的测量光轴平行度调控技术研究.pdf

哈尔滨工业大学专业学位硕士论文

摘要

激光外差干涉测量技术具有测量精度高、测量范围广、信噪比高以及可溯源

等优点，在超精密装备加工制造、超精密计量测试等领域得到了广泛的应用。随

着我国科学技术的发展，以激光外差干涉测量技术为核心的光刻机技术的发展以

及空间引力波的探测都成为了当下研究应用的热点，而外差干涉仪的精度的提高

是制约当下科技发展的重大难点，其中由测量光轴不平行所引起的测量误差是影

响外差干涉仪精度的一个重要因素。因此研究外差干涉仪测量光轴的平行度对激

光外差干涉仪的应用和发展至关重要。

本文深入分析了外差干涉仪测量光轴不平行所引起的余弦误差和干涉信号

质量下降影响测量精度的问题，提出一种多轴干涉仪测量光轴平行度负反馈控制

方法，在保障干涉信号质量的同时，提高测量光轴平行度进而提高测量精度，本

文主要研究工作如下：

针对测量光轴平行度影响外差干涉仪测量精度的问题，建立测量光轴与测量

反射镜运动方向不平行所引起余弦误差的模型，以及测量光轴和参考光轴合光不

平行所导致干涉信号质量下降的模型，解析测量光轴不平行与测量精度之间的影

响机理，为测量光轴平行度负反馈控制系统设计提供相应的理论基础。

针对当下在对多轴干涉镜组装配过程中缺少高精度光轴平行度调控技术的

现状，建立起测量光轴平行度负反馈控制系统，并针对20μrad的控制精度指标，

对负反馈控制系统中的光轴平行度调控装置、测量装置以及干涉信号质量检测装

置进行合理的分析设计与选型，然后针对所设计的硬件进行相应的程序的设计，

实现设备之间的数据交互以及数据的采集。

针对干涉镜组内部加工误差导致测量光入射干涉镜组前后平行度变差的问

题，提出同时满足测量光轴平行度和干涉信号质量的最佳调控点的全局优化算法，

并以此为基础建立起PID算法控制模型，并针对测量光轴平行度调控稳定性受

到反馈通道采样速率限制难以提高的问题，进行程序优化，使得整个控制系统的

控制效果满足调控需求。

最后在上述技术的基础上，采用四轴干涉镜组并对其入光和分光结构进行机

械设计，搭建反馈控制系统，进行四轴干涉镜组测量光轴平行度调控测试实验。

最终实验表明本文所设计的控制系统可以实现多轴干涉镜组的测量光轴平行度

的调控，在保证干涉信号质量的前提下干涉信号中交流幅值和直流幅值的比值(

大于90%)，使测量光轴之间的平行度优于20μrad。

关键词：测量光轴平行度；外差干涉仪；干涉信号质量；负反馈调节

-I–

哈尔滨工业大学专业学位硕士论文

ABSTRACT

Laserheterodyneinterferometrytechnologyhastheadvantagesofhigh

measuringprecision,widemeasuringrange,highsignal-to-noiseratioandtraceability,

andhasbeenwidelyusedinultra-precisionequipmentmanufacturing,ultra-precision

measurementtestingandotherfields.Withthedevelopmentofscienceand

technologyinourcountry,thedevelopmentoflaserheterodyneinterferometer

technologyandthedetectionofspacegravitationalwavehavebecomethefocusof

researchandapplication.However,theimprovementoftheprecisionofheterodyne

interferometerisaveryimportantdifficultywhichisrestrictedtothedevelopmentof

scienceandtechnology.Themeasurementerrorcausedbythenon-paral