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《精密空调机组性能测试方法》标准修订研究报告

ResearchReportontheRevisionofPerformanceTestMethodsforPrecisionAirConditioningUnits

摘要

随着半导体制造、生物医药等高新技术产业对超精密温控需求的快速增长，现行GB/T25858-2010标准在测试精度、评价体系等方面已无法满足行业发展需求。本研究通过分析标准现存问题，提出修订方案：新增超高精密空调类别（温控精度±0.3℃、湿度±1%），引入动态负载冲击测试方法，升级仪表精度要求至±0.05℃。修订后的标准将填补国内超静态精密温控设备评价体系空白，为芯片制造装备提供关键测试依据，预计可推动行业能效提升15%以上。本报告详细阐述了标准修订的技术路线、创新内容及产业应用价值。

关键词：精密空调；性能测试；温控精度；动态负载；标准修订

Keywords:precisionairconditioning;performancetest;temperaturecontrolaccuracy;dynamicload;standardrevision

正文

一、修订背景与必要性

1.产业需求驱动

根据中国电子专用设备工业协会数据，2023年我国半导体制造用精密温控设备市场规模达42亿元，年增长率18%。但现行标准最高±0.5℃的温控精度要求，与7nm以下制程芯片所需的±0.1℃环境控制存在代际差距。

2.技术发展滞后

现行标准存在三大技术短板：

-测试精度不足（仪表精度±0.1℃vs实际需求±0.05℃）

-缺失动态性能评价（如30%负载冲击下的恢复时间）

-能效评价单一（仅ICOP指标）

3.国际标准对标

对比ASHRAE127-2020标准，我国在动态响应测试（如阶跃扰动试验）、多参数耦合评价等方面存在明显差距。

二、主要技术修订内容

|修订模块|2010版内容|2023修订要点|技术突破|

|---------|-----------|-------------|---------|

|温控精度|±1℃/±5%RH|新增±0.3℃/±1%RH等级|满足3nm芯片制造需求|

|测试方法|稳态热平衡法|增加动态负载冲击测试|模拟实际工况波动|

|仪表精度|±0.1℃|提升至±0.05℃|测量不确定度降低50%|

|能效评价|单一ICOP指标|引入EER/PLV多维度评价|符合GB37479-2019能效新规|

核心创新点：

-附录D提出的阶跃扰动试验法，通过施加±30%制冷量阶跃变化，记录温度恢复至±0.1℃区间所需时间（要求≤120s）

-采用ISO9806:2017中的动态数据采集技术，采样频率从1Hz提升至10Hz

三、参与单位介绍

中国建筑科学研究院建筑环境与能源研究院作为主要起草单位，承担了关键技术验证工作。该院拥有国家建筑节能质量检验检测中心，建成国际领先的±0.05℃温控精度测试平台，近三年主导编制GB/T18837-2015等12项空调领域国家标准。本次修订中，其研发的动态负载模拟系统解决了瞬态工况下的数据同步采集难题。

四、产业影响分析

1.质量提升：预计使产品故障率降低40%（基于上海微电子装备有限公司试点数据）

2.节能效益：新能效评价体系可促进机组COP值提升0.3以上

3.国际竞争：标准实施后，国产设备出口合规率将从65%提升至90%

结论与展望

本次修订构建了覆盖稳态/动态工况的完整测试体系，重点突破超精密温控设备的评价瓶颈。建议后续：

1.加快与SEMIF47等国际标准对接

2.开发基于数字孪生的虚拟测试平台

3.建立芯片制造场景的专用测试工况库

本标准的实施将显著提升我国在高附加值温控设备领域的话语权，为十四五期间半导体装备自主化提供基础支撑。

（注：文中数据引用自《中国制冷空调行业发展白皮书2023》《国家智能制造标准体系建设指南》等权威文献）