原创力文档《智能传感器技术》教材配套课件
国防科技大学;4;4;半导体压力传感器是由半导体材料构成，能够感受压力并转换成电信号的器件或装置。;压阻式压力传感器;恩德福克Endevco硅压力传感器;有效带宽高达100kHz
上升时间短，仅为几个微秒
且需要多点同时测量;系统总体框图;4;原理：半导体材料的许多性能参数，如电阻率、PN结的反向漏电流和正向电压等，都与温度有着密切的关系。;以金属氧化物为材料，采用陶瓷工艺，经高温烧结制成具有半导体特性的
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