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第31卷第5期中国惯性技术学报Vol.31No.5
2023年05月JournalofChineseInertialTechnologyMay.2023
文章编号：1005-6734(2023)05-0481-09doi.10.13695/ki.12-1222/o3.2023.05.008
面向压电式六维力传感器的动态建模与性能分析方法
张宇航，王建青，党建军，王文一
（西安航天精密机电研究所，西安710100）
摘要：针对目前六维力传感器固有频率低、动态范围小的问题，设计了一种自预紧压电式六维力传感
器结构，并对其性能进行了分析。建立了传感器动态理论数学模型，绘制了传感器灵敏度、固有频率
与传感器结构参数变化相关的四维图谱，基于图谱法得到了传感器灵敏度和动态固有频率随传感器结
构参数变化的规律。研制出了基于多组石英晶片的压电式六维力传感器并进行了性能测试，试验结果
表明，所设计的六维力传感器固有频率为9.6KHz，动态测量范围为3.2KHz，大于弹性体式六维力传
感器2KHz以下的动态范围，验证了所设计六维力传感器具有更高的固有频率，更大的动态范围，可
更好地满足高动态范围使用要求。
关键词：六维力传感器；数学模型；图谱法；主动分析
中图分类号：TH7文献标识码：A
Dynamicmathematicalmodelingandperformanceanalysisforthe
six-axispiezoelectricforcesensor
ZHANGYuhang,WANGJianqing,DANGJianjun,WANGWenyi
(XI’anAerospacePrecisionElectromechanicalInstitute,XI’an710100,China)
Abstract:Aimingattheproblemsoflownaturalfrequencyandsmalldynamicrangeofthecurrentsix
axisforcesensor,aself-pretensionpiezoelectricsixaxisforcesensorisdesignedanditsperformanceis
analyzed.Thedynamictheoreticalandmathematicalmodelofthesensorisestablished,basedonthe
establishedmathematicalmodel,thechangesbetweensensitivity,naturalfrequencyandthesensorstructural
parametersoffour-dimensionalatlasaredrawn,thevariationofsensitivityandnaturalfrequencywiththe
structuralparametersofthesensorisobtainedbasedonmethodofatlas.Asix-dimensionalpiezoelectricforce
sensorbasedonseveralgroupsofquartzwafersisdevelopedandtested.Thetest
初级会计持证人
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