TDLSHXH 007—2020电子工业用气体 氧硫化碳.docxVIP

ICS71.100.20G85

团 体 标 准

T/DLSHXH007—2020

电子工业用气体氧硫化碳

Gasforelectronicindustry—Carbonylsulfide

2020-09-30发布 2020-10-30实施

大连市石油和化工行业协会 发布

T/DLSHXH

T/DLSHXH007-2020

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目次

前 言 II

电子工业用气体氧硫化碳 1

范围 1

规范性引用文件 1

术语与定义

技术要求 1

试验方法 2

检验规则 2

标志、包装、运输和贮存 3

安全要求 3

前言

本标准按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

本标准由大连科利德光电子材料有限公司提出。

本标准由大连石油和化工行业协会标准化工作委员会归口。

本标准负责起草单位：大连科利德光电子材料有限公司、大连石油和化工行业协会本标准参加起草单位：全椒科利德电子材料有限公司

本标准主要起草人：施旖旎、裴凯、石琳、毕聪智、王明月、孙瑞玉本标准2020年9月首次发布。

T/DLSHXH

T/DLSHXH007-2020

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电子工业用气体氧硫化碳

范围

本标准规定了电子工业用气体氧硫化碳的技术要求、试验方法、检验规则及产品的标志、包装、贮运及安全要求。

本标准适用于于以工业氧硫化碳为原料经纯化制备的电子工业用气体氧硫化碳。电子工业用气体氧硫化碳主要用于集成电路领域。

分子式：COS

相对分子质量：60.07（按2011年国际相对原子质量）

规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB190 危险货物包装标志

GB5099 钢制无缝气瓶

GB/T5274气体分析校准用混合气体的制备称量法GB/T5832.1气体分析微量水分的测定第1部分：电解法GB/T7144 气瓶颜色标志

GB14193 液化气体气瓶充装规定

GB15258 化学品安全标签编写规定

GB16483 化学品安全技术说明书编写规定

GB16804 气瓶警示标签

GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱仪

TSGR0006 气瓶安全技术监察规程危险化学品安全管理条例

特种设备安全监察条例

危险货物运输管理规则

术语和定义

本标准中电子工业用气体氧硫化碳是指99.99%的氧硫化碳产品。

技术要求

电子工业用气体氧硫化碳技术指标应符合表1的要求。

表1技术指标

项 目

指 标

氧硫化碳纯度，10-2(V/V)

≥99.99

氧含量，10-6(V/V)

≤10

氮含量，10-6(V/V)

≤20

甲烷含量，10-6(V/V)

≤5

一氧化碳含量，10-6(V/V)

≤10

二氧化碳含量，10-6(V/V)

≤20

硫化氢含量，10-6(V/V)

≤10

二硫化碳含量，10-6(V/V)

≤5

水含量，10-6(V/V)

≤10

试验方法

氧硫化碳的纯度

99.99%氧硫化碳的纯度按式（1）计算：

φ=100-(φ1+φ2+φ3+φ4+φ5+φ6+φ7+φ8)×10-4 （1）式中：φ—氧硫化碳的纯度，10-2(V/V)；

φ1—氧含量，10-6(V/V)；φ2—氮含量，10-6(V/V)；φ3—甲烷含量，10-6(V/V)；

φ4—一氧化碳含量，10-6(V/V)；

φ5—二氧化碳含量，10-6(V/V)；φ6—硫化氢水含量，10-6(V/V)；Φ7—二硫化碳含量，10-6(V/V)；Φ8—水含量，10-6(V/V)；

氧、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、硫化氢、二硫化碳含量的测定

原理

按GB/T28726规定执行

仪器

带有PDD检测器的气相色谱仪

测定条件

载气：高纯氦，纯度99.999%检测器温度：130℃

柱箱：初始时间15min，以15℃/min的速率升至100℃，保持45min。

外标法定量，标准气以氦气为底气，含氧、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、硫化氢、二硫化碳各组份。标准气制备符合GB/T5274的规定。

水含量的测定

水含量的测定按GB/T5832.1规定执行。

检验规则

出厂检验

氧硫化碳产品应逐瓶检验并验收，出厂检验项目为包括本标准要求中的全部项目。

判定规则

当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格，以确保每一包装氧硫化碳产品符合本标准技术要求。