ITO基复合透明导电膜性能仿真.pdfVIP

摘要

透明导电氧化物薄膜ITO是目前光电性能最为优异的透明导电材料，由于其

兼具可见光高透射率和低电阻率的特点，同时红外发射率低、反射率高，因而是

制备液晶显示、电致发光器件、太阳能电池的透明电极的良好材料。随着科学技

术的不断发展，对透明导电氧化物薄膜的热力学性能以及光电提出了更严格的要

求。如何在有机玻璃衬底上制备高质量的ITO薄膜得到了研究人员的广泛关注。

ITO薄膜与有机玻璃衬底之间的力学性能的失配是目前亟需解决的问题。由于ITO

薄膜与有机玻璃热膨胀系数的失配，以及巨大的杨氏模量的差异，导致在环境温

度迅速上升或降低以及高低温交替变化等温差较大的情况下，ITO薄膜产生大量的

热应力。从而引起ITO薄膜的碎裂甚至脱落，严重影响着相应设备或器件的正常

工作，同时带来巨大的安全隐患。此外，ITO薄膜光学性能与电学性能之间的矛盾

给研究人员带了很大的困扰。ITO薄膜的电学性能，尤其是电磁屏蔽性能很大程度

上受到薄膜厚度的影响。优良的电学性能要求薄膜具备较大的厚度，然而ITO厚

度增加所带来的可见光的吸收和反射，引起薄膜光学性能的下降。

针对以上问题，本文建立了有机玻璃/缓冲层/无机透明导电膜层的热应力仿真

模型，通过引入缓冲层来匹配ITO与有机玻璃之间的热力学性能，并探究缓冲层

材料热力学参数对ITO膜层热应力的影响规律。同时为了进一步优化ITO薄膜的

光电性能，仿真设计并实验制备出兼具电磁屏蔽性能和高可见光透射率的

[0.5-ITO/SiO/0.5-ITO]周期性结构复合透明导电薄膜。

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本文的主要研究内容和结论如下：

1.基于COMSOL多物理场有限元软件构建有机玻璃/缓冲层/无机透明导电膜

层的热应力仿真模型，通过改变缓冲层材料结构以及热力学参数探究缓冲层对ITO

薄膜热应力的影响规律。仿真结果表明，缓冲层的引入有助于减小ITO薄膜内的

热应力。ITO薄膜内的热应力，随着温度差以及缓冲层材料的热膨胀系数的增大而

线性增大；随着缓冲层厚度和缓冲层杨氏模量的增大而减小。

2.基于布拉格高反射模型出设计具有电磁屏蔽性能和高可见光透射率的

[0.5-ITO/SiO/0.5-ITO]周期性结构的复合透明导电膜，并通过有限元软件和

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MATLAB软件对周期性结构膜系进行光学仿真，探究膜系可见光透射率随中心波

长，周期数等参数的变化规律。仿真结果表明，膜系的中心波长附近将出现一定

范围的高反射区间，通过将中心波长偏移至远离可见光波段的紫外区域可以使膜

系在整个可见光波段具备高透射率。当ITO薄膜总厚度固定时，可以通过增加周

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期数来调节中心波长的位置，使其位于紫外区域，从而使膜系具备高可见光透射

率，同时提高膜系的耐磨性。

3.实验制备出兼具电磁屏蔽和高可见光透射率的[0.5-ITO/SiO/0.5-ITO]周

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期性结构复合透明导电薄膜材料，在ITO薄膜总厚度为100nm的情况下，可见光

平均透射率大于90%，相较于厚度为100nm的单层ITO薄膜提升了将近10%。

关键词：ITO，热应力，杨氏模量，热膨胀系数，可见光透射率

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ABSTRACT

TransparentconductiveoxidefilmITOiscurrentlythemostexcellent

photoelectricperformanceoftransparentconductivematerial,becauseofitshighvisible

lighttransmittanceandlowresistivitycharacteristics,whilelo