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电极通电辅助热键合实现多种金属微电极单片集成的关键技术与应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，微电极作为一种能够精确测量微小电信号的关键元件，凭借其高灵敏度和出色的信号噪声比，在众多领域展现出了不可或缺的重要性。在神经科学领域，研究人员通过将微电极植入动物大脑或神经组织，得以记录神经元的电活动，从而深入探究神经信号的传递机制，为揭示大脑的奥秘、理解神经疾病的发病机理以及开发创新治疗方法提供了关键依据。在生物医学中，微电极可用于检测生物分子、细胞活动等，为疾病诊断和治疗效果评估提供精准数据。在环境监测方面，微电极能够对水体、土壤中的微量物质进行实时监测，助力及