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中文摘要
超声成像是医疗成像的重要方式之一，超声探头作为成像系统的发射端和
接收端，对成像系统的应用方式和成像质量具有重要影响。传统的超声换能器
受到工艺限制很难满足高频半个波长的尺寸要求，基于微机电系统技术开发的
压电微机械超声换能器（Piezoelectricmicromechanicalultrasonictransducer,
PMUT），具有体积小、功耗低、成本低等优势，同时兼容CMOS工艺，可以开
发高集成度和小型化超声探头，进而促进便携式高性能超声医疗设备的发展。
但PM
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