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*光学检测技术-测控技术*2.2测试原理第30页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*2.3反射棱镜的平行度测量DI-90第31页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*第一光学平行度:在入射光轴界面内,角度误差造成的。第二光学平行度:垂直于入射光轴界面,棱差造成。问题:45度角那个大?那个小?第32页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*DII-180第33页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*90角?是大于90度还是小于90度?调视度:正视度,双像靠近则大于90度,反之小于90度.半边遮挡:同边的双像消失则大于90度,反之,小于90度第34页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*DIIJ-90第35页,共49页,星期日,2025年,2月5日光学检测技术-测控技术西安工业大学北方信息工程学院光学检测技术-测控技术第三章准直和自准直第1页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*准直和自准直1激光束的准直和自准直2自准直法测量光学零件的平行度3自准直法测量曲率半径和焦距第2页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*1激光束的准直和自准直1.1激光束的准直1.2激光束的自准直第3页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*1.1激光束的准直采用倒装的望远系统实现光束准直第4页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*第5页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*ForaGaussianbeam,thecomplexelectricfieldamplitudeisgivenbyristheradialdistancefromthecenteraxisofthebeam,zistheaxialdistancefromthebeamsnarrowestpoint(thewaist),E0=|E(0,0)|,w(z)istheradiusatwhichthefieldamplitudeandintensitydropto1/eand1/e2oftheiraxialvaluesw0=w(0)isthewaistsize(describedinmoredetailbelow).Thefunctionsw(z),R(z),andζ(z)areparametersofthebeam,whichwedefinebelow.第6页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*第7页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*第8页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*第9页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*1.1激光束的准直零阶贝塞尔光束第10页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*实现1第11页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*第12页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*第13页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*实现1:轴锥镜第14页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*第15页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*第16页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*第17页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*第18页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*第19页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*1激光束的准直和自准直1.1激光束的准直1.2激光束的自准直第20页,共49页,星期日,2025年,2月5日*光学检测技术-测控技术*1.2激光束的自准直平面镜反射-平面波相位共轭面-任意波第21页,共49页,星期日,202
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