16-探针显微分析浙大课件资料.pdfVIP

材第五章扫描探针显微分析技术

料

现

代§1.原子力显微分析法

分

析§2.扫描隧道显微分析法

技

术

（第十八章第四节）

材§1.原子力显微分析法

料AFM

现

代

分一、原子力显微分析的基本原理

析principleofAFM

技二、原子力显微分析的应用

术applicationsofAFM

一、原子力显微分析的基本原理

材现代表面技术分析的发展

料

现1933年德国Ruska和Knoll等人在柏林制成第一台电子

代显微镜后，几十年来，有许多用于表面结构分析的现

分代仪器先后问世：e.g.透射电子显微镜（TEM）、扫

析描电子显微镜（SEM）、场电子显微镜（FEM）、

技场离子显微镜（FIM）、低能电子衍射（LEED）、

术俄歇谱仪（AES）、光电子能谱（ESCA，UPS）、X

射线光电子能谱（XPS）等。

材现代表面技术的应用局限

料低能电子衍射（LEED）等衍射方法要求样品具备周期性结构

现（晶体）

代光学显微镜（OM）和扫描电子显微镜（SEM）的分辨率不足以

分分辨出表面原子

高分辨透射电子显微镜（TEM）主要用于薄层样品的体相和界

析面研究

技场电子显微镜（FEM）和场离子显微镜（FIM）只能探测在半径

术小于100nm的针尖上的原子结构和二维几何性质，且制样技术复

杂，研究对象十分有限；

X射线光电子能谱(XPS)、俄歇谱仪（AES）等只能提供空间平均

的电子结构信息

材

料

现

代

分

析

技

术

材

料

现

代

分

析

技

术

材

料

现

代

分

析

技

术A是AFM待测样品；B是AFM针尖；C是STM的针尖；

D是微杠杆(悬臂梁)；E是调制压电晶体，用于调节隧道间隙

AFMSF是三维压电晶体驱动器，由该驱动器进行试样的x

、y扫描和z方向控制；F是氟橡胶。

二、原子力显微分析的应用

材（1）分析测试绝缘体表面（以及半导体和导体表面）的原

料子级分辨率图像；

现（2）测量、分析样品表面纳米级的力学性质，如表面原子

代间力，表面的弹性、塑性、硬度、粘着力、摩擦力等。

分

析

技

术

二、原子力显微分析的应用

材

料

现

代

分

析

技

术

材

料

现

代

分

析

技

术

Novoselov,K.S.;Geim,A.K.;Morozov,S.V.;Jiang,D.;Zhang,Y.;Dubonos,S.V.;Grigorieva,I.V.;

Firsov,A.A.Science2004,306,666.

材

料§2.扫描隧道显微分析法

现STM

代

分

析一、扫描隧道显微分析的基本原理

技