第3章 激光测量 20134.pptxVIP

激光在精密测量中的应用激光干涉测量;

激光干涉测量技术;

式中，n;、n分别为干涉仪两支光路的介质折射率：li,lj;

激光干涉测量长度和位移;

迈克尔逊干涉仪测长示意图;

测得干涉条纹的变化次数K之后，即可由上式求得被测长度L。在实际测量中，采用干涉条纹计数法，测量开始时使计数器置零，测量结束时计数器的示值即为与被测长度L相对应的条纹数K。可把上式改写为;

迈克尔逊干涉仪的基本误差分析;;

a)分波阵面法；(b)分振幅法;;

(c)分偏振法;

(3)分偏振法在偏振干涉仪系统中需要采用偏振分光器，它由一对玻璃棱镜相胶合而成，在其中一块棱镜的胶合面上交替蒸镀氟化镁和硫化锌膜层。入射光以布儒斯特角进入介质层，经多次透射和反射得到高偏振度的S分量反射光和P分量透射光。偏振分光器也可由晶轴正交的偏光棱镜组成，如渥拉斯顿棱镜，如上图(c)所示。;

(4)“猫眼”反射器如下图(c)所示，它由一个透镜L和一个凹面反射镜M组成、反射镜放在透镜的主焦点上，从左边来的入射光束聚焦在反射镜上，反射镜又把光束反射到透镜，并沿与入射光平行的方向射出(与反射镜的曲率无关)。若反别镜的曲率中心C’和透镜的中心C重合，那么当透镜和反射镜一起绕C点旋转时，光程保持不变：“猫眼“反射器的优点是容易加工和不影响偏振光的传输。在光程不长的情况下也可考虑用平面反射镜代替凹面反射镜，这样更容易加工和调整。;

4.典型的光路布局;

Z;

只用一个角锥棱镜反射器作动镜还可以组成图(d)所示的双光束干涉仪，它也是一种较理想的光路布局，基本上不受镜座多余自由度的影响，而且光程增加一倍。(2)整体式布局这是一种将;

(3)光学倍频布局为提高干涉仪的灵敏度，可使用光学倍频(也称光程差放大器)的棱镜系统，如下图所示。角锥棱镜M每移动kλ/2干涉条纹便发生一次明暗交替变化，k为倍频系数，图中k=6。利用光学倍频的干涉系统能用简单的脉冲计数做精密测量，而无需进行条纹细分，这种技术还可使干涉仪结构紧凑，减小温度、空气及机械干扰的影响。;

(4)零光程差的结构布局在干涉仪中，为使初始光程差不随环境条件的变化而变化，常采用参考臂Lc和测量臂Lm相等，并使两臂布置在仪器同一侧的结构形式。此时，干涉仪;

(二)干涉条纹计数与测量结果处理系统;

阶梯板移相光路图;

(2)金属膜移相利用金属膜表面反射和透射时都产生附加位相差的原理，在分光器的分光面上镀上金属膜做成金属膜分幅移相器，如图所示。它的移相程度取决于镀层的厚度及其组成。在图中，光路2中产生干涉的两束光均经过金属移相膜的一次透射和一次反射，光电接收器接收的是位相相同的两束激光所形成的干涉条纹。而在光路1中产生干涉的两束光，一束是经过金属移相膜的两次反射，另一路则经过两次透射。若金属移相膜使反射光束和透射光束产生45°位相差，则光电接收器接收的是位相差为90°两束光的干涉信号。这样，两个光电接收器接收的信号位相差为90°。这种移相方法的优点是两光束受振动和