纤维薄膜型多机理复合压力传感器件的研究.pdfVIP

摘要

随着物联网的快速发展，人们对医疗健康监测和人机智能交互等方面的需求

不断增加，促使可穿戴式传感的市场规模不断扩大。近年来，市场对可穿戴传感

设备的灵活性、延展性、柔韧性等提出了更严苛的要求。得益于柔性基底材料的

快速发展，柔性可穿戴传感设备应时而生。然而柔性可穿戴式传感器件也面临着

诸多挑战，其中能源供应问题是阻碍其发展的主要因素。压力作为人体内部以及

人体与外部环境接触的重要信号，对于评估健康状况、诊断疾病和进行医疗干预

至关重要。因此，本文应对可穿戴传感的能源供应问题，结合压电效应和摩擦电

效应，探索压电纤维和摩擦层薄膜的制备工艺，实现对压力具有传感感知功能的

柔性自供能电子器件。本文的研究内容主要包括以下三个方面：

（1）通过静电纺丝制备了PVDF/MWCNTs压电纤维和PVDF-HFP/BTO压电

纤维，并对溶液的浓度(14wt%)、电压(8kV)、MWCNTs含量(0.2%)等纺丝工艺参

数进行了探索和优化。基于三明治结构设计制备了不同压电纤维的压力传感器，

分析了其工作机理，并对压电性能进行了测试和对比，结果表明MWCNTs或

BTO的加入均有利于传感器压电性能的提升。

（2）基于气液界面自组装技术完成PS微球单层薄膜的组装，通过等离子体刻

蚀实现在不同基底材料(PI，PET，PTFE)上制备微结构薄膜，并对基底材料和刻

蚀时间对微结构的影响(基底材料的选择影响形貌，刻蚀时间影响尺寸和深度)进

行了探究。基于垂直接触分离模型制备出摩擦电压力传感器，并完成传感器的电

学性能测试和比较，结果表明所制备的微结构有利于提升传感器输出性能，其中

PET薄膜上形成的坑状结构可提升至原来的2倍。

（3）利用纳米纤维的多孔结构，结合压电和摩擦电效应完成了复合压力传感

器件制备与测试。测得器件的整体厚度较薄，柔韧性好，灵敏度为16.3mV/KPa，

响应时间为85ms，并能够反复工作超过10000次，具有很好抗疲劳性和机械稳

定性，在提升间隙层厚度和接触分离的频率后传感器输出性能将进一步提高。此

外，利用该器件实现了对人体关节运动、日常饮水等活动进行监测。最后，本文

还完成了压力传感阵列制备和测试，并基于ESP32芯片和LabVIEW实现了数据

可视化系统，为医疗监测和智能交互提供了一种方案。

关键词：穿戴式电子，纳米纤维，压力传感，自供能，多机理复合

ABSTRACT

WiththerapiddevelopmentoftheInternetofThings,peoplesdemandformedical

healthmonitoringandhuman-machineintelligentinteractioncontinuestoincrease,

promptingthemarketsizeofwearablesensingtoexpand.Inrecentyears,themarkethas

putforwardmorestringentrequirementsfortheflexibility,ductilityandflexibilityof

wearablesensingdevices.Thankstotherapiddevelopmentofflexiblesubstratematerials,

flexiblewearablesensingdevicesshouldbebornintime.However,flexiblewearable

sensorsarealsofacingmanychallenges,amongwhichenergysupplyisthemainfactor

hinderingtheirdevelopment.Stress,asanimportantsignalofcontactbetweenthehuman

bodyandtheexternalenvironment,isessentialfortheassessmentofhealthstatus