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电子真空镀膜工职业健康操作规程

文件名称：电子真空镀膜工职业健康操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于从事电子真空镀膜工作的操作人员。规程旨在确保操作人员在工作过程中的人身安全和健康，防止事故发生。操作人员必须严格遵守本规程，熟悉并掌握操作技能和安全知识，确保设备正常运行，预防职业病和职业伤害。规程涵盖设备操作、安全防护、环境卫生等方面，旨在为电子真空镀膜工作提供一个安全、健康、有序的工作环境。

二、操作前的准备

1.个人防护：操作人员应穿戴合适的个人防护装备，包括防尘口罩、防护眼镜、防护手套、防护服和防静电鞋。长发应束起，避免操作过程中头发接触到设备。

2.设备检查：

-确认设备是否处于正常工作状态，包括电源、气源、真空度、控制系统等。

-检查设备是否有异常噪音、震动或泄漏，如有异常，应立即停止操作并报告维修人员。

-确认设备内部是否有残留的杂质或污染物，必要时进行清洁。

3.环境检查：

-检查工作区域是否存在安全隐患，如电线裸露、地面湿滑等，及时消除隐患。

-确认工作区域通风良好，确保操作过程中空气流通，避免有害气体积聚。

-检查照明设备是否充足，确保操作视线清晰。

4.原材料准备：

-根据操作要求，准备所需的镀膜材料、辅助材料和化学药品。

-检查原材料的质量和有效期，确保材料符合生产标准。

-将原材料放置在指定的储存区域，避免混淆和误用。

5.操作指导书：

-阅读并理解操作指导书，熟悉操作步骤和注意事项。

-确认指导书中所列参数是否符合本次操作要求。

6.预防性维护：

-检查设备维护保养记录，确保设备按照规定周期进行维护保养。

-对设备进行必要的润滑和清洁，确保设备运转顺畅。

7.安全培训：

-操作人员应接受必要的安全培训，包括紧急疏散、火灾逃生、急救知识等。

-熟悉应急预案，了解应急处理流程。

8.操作许可：

-根据操作内容，取得相应的操作许可。

-如涉及特殊操作或新材料，需经相关部门审核批准。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

-首先，开启真空镀膜设备，检查设备是否处于待机状态。

-接着，进行设备预热，达到操作所需的温度。

-预热过程中，检查设备真空度是否达到要求，确保设备正常运行。

-准备好镀膜材料，将其放置在设备指定的位置。

-启动镀膜程序，按照操作指导书设定参数。

-在镀膜过程中，监控设备运行状态，包括真空度、温度、压力等参数。

-镀膜完成后，关闭设备，进行冷却。

-最后，取出镀膜产品，进行质量检查。

2.作业方式：

-操作过程中，应严格按照操作指导书执行，不得随意更改参数。

-作业时，保持与设备的安全距离，避免身体接触到高温或高压区域。

-使用设备时，应先确认设备处于停止状态，再进行操作。

-在操作过程中，不得离开工作岗位，确保设备安全运行。

3.异常处置：

-如发现设备异常，立即停止操作，切断电源，防止事故扩大。

-根据异常情况，采取相应的应急措施，如使用灭火器灭火、紧急疏散等。

-对于无法自行处理的异常，立即报告上级或维修人员，等待处理。

-在异常处理过程中，确保操作人员的安全，避免发生二次事故。

4.记录与报告：

-操作过程中，详细记录设备运行参数、材料消耗、异常情况等。

-每次操作完成后，填写操作记录表，确保信息准确无误。

-如发现设备故障或安全隐患，及时向上级报告，以便采取相应措施。

5.安全检查：

-操作完成后，进行安全检查，确保设备无安全隐患。

-清理工作区域，归置工具和材料，保持工作环境整洁。

-确认所有操作人员已离开工作区域，关闭电源和气源，确保安全。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

-设备运行时，应保持稳定的真空度，通常应在1.3×10^-3Pa以上。

-设备内部温度应稳定在操作指导书中规定的范围内，如镀膜温度一般在200℃至400℃之间。

-设备的压力控制系统应正常工作，确保压力波动在允许范围内。

-设备的电流、电压等电气参数应稳定，无异常波动。

-设备的机械部件运行应平稳，无异常噪音或震动。

-设备的控制系统应响应迅速，参数调整应准确无误。

2.异常现象识别：

-真空度下降：可能是泵故障、泄漏或系统堵塞。

-温度异常：可能是加热器故障、温度控制器失灵或热循环不均。

-压力波动：可能是压力传感器故障、气路泄漏或阀门故障。

-电流、电压波动：可能是供电不稳定、电气元件损坏或控制系统故障。

-机械噪音或震动：可能是轴承磨损、齿轮损坏或机械部件松动。

-控制系统响应迟缓：可能