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气敏传感器的发展研究文献综述

尽管科学技术的飞速进步和经济的快速发展，不可避免地给现代人的工业生产和其他日常生活带来了无限的便利和舒适，我们无休止的探索和不断寻求对自然环境的认识，必然会对我们的自然环境造成巨大的环境破坏。工业生产的使用过程中所排放产生的对我们人体健康有毒、易燃易爆有害气体不仅有时会严重污染生态环境,破坏了我们赖以生存的一个自然生态家园,并且危害人的生命安全。运输运输交通给我们在带来舒适生活的同时也会产生巨大的汽车尾气污染,而气敏传感器则是作为这些污染物的主要监测方法手段,就是将汽车中气体的浓度,种类以及其他一系列的环境信息都转化成了电信号,并通过传输到计算机上，在计算机上面进行大量的数据分析从而获得更多便于人们了解的数字化形式。从而促使人类能够对环境中的各种气体组成物质在可能会出现的温度偏离情况进行了预测和实时的监控,在形成重大事故时能及时作出反应和预测从而减少事故的发生。

传感器是指能把物理、化学、生物等变量转化为无线电信号的一种器件。传感器可用不同的方式输出的通讯信号码，从而适应其不同的要求,比如说电压、电流，再如频率、脉冲等,这些信号都可满足对信息的传输、处理、记录、显示、控制等要求,它们是自动化检测设备和自动化控制系统中必须配备的元件。传感器技术作为目前的新发展的许多信息技术当中的一个,它包括了很多功能，主要是信息数据采集、信息传递、信息处理。国外许多发达国家均把传感器技术作为现代化高技术进步的关键。20世纪80年代以来，作为传感器发展强国的日本将这些传感器技术作为其发展的重点。日经工业将这些传感器列为未来中10年最值得关注与期待的技术。许多其他国家也将这些传感器技术当做国家科技和国防科技进步的重点。截止1999年底，全球传感器市场已达87亿美元，这个数据和1998年相比，有一个明显的增长，增长了8.5%。虽然我国的传感器产业早在上世纪50年代初就起步了，但直到1986年7月5日传感器技术才正式列入国家重点研究项目，投入了机械感、力感、气感、湿感、生物感等5种敏感药物。在历经十多年的发展之后，气敏传感器行业形成了一定数量和规模的产业格局特征。

1.2.1气敏传感器的研究进展

1931年，布劳尔ADDINEN.CITEEndNoteCiteRecNum251/RecNumDisplayText[4]/DisplayTextrecordrec-number251/rec-numberforeign-keyskeyapp=ENdb-id=xdrzvdra5vrp2ne5vsbv9pauzv0fst0ftdastimestamp=1584166122251/keykeyapp=ENWebdb-id=0/key/foreign-keysref-typename=JournalArticle17/ref-typecontributors/contributorstitlestitlelt;半导体复合氧化物气敏材料研究进展_牛新书.pdfgt;/title/titlesdates/datesurls/urls/record/Cite/EndNote[1]通过实验研究发现了cu2o的气敏效应,，Cu2O的气敏特性会随着水蒸气的浓度改变而改变，此次发现对材料气敏性能来说，犹如打开了新世界的大门。许多学者，研究人员通过不懈的努力，他们进一步的探索和研究使气敏传感器越来越多的优良性能被我们发现,直到1962年,一个相对稳定的气敏薄膜材料ZnO被成功地制备为气敏元件,这一技术的研究成果打开了气敏传感器在行业中发展的实践篇章ADDINEN.CITEEndNoteCiteRecNum251/RecNumDisplayText[4]/DisplayTextrecordrec-number251/rec-numberforeign-keyskeyapp=ENdb-id=xdrzvdra5vrp2ne5vsbv9pauzv0fst0ftdastimestamp=1584166122251/keykeyapp=ENWebdb-id=0/key/foreign-keysref-typename=JournalArticle17/ref-typecontributors/contributorstitlestitlelt;半导体复合氧化物气敏材料研究进展_牛新书.pdfgt;/title/titlesdates/datesurls/urls/record/Cite/EndNote[3]。在1977年，Gauthier等ADDINEN.CITEEndNoteCiteRecNum251/RecNumDisplayText[4]/DisplayText