电子工厂化学品系统工程技术规范.docxVIP

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目次

1总则 (1)

2术语、缩略语 (2)

2.1术语 (2)

2.2缩略语 (4)

3化学品供应系统 (5)

3.1一般规定 (5)

3.2化学品供应设备 (5)

3.3化学品供应管道系统 (8)

3.4设备与管道材质 (9)

3.5管道标识 (10)

4化学品回收系统 (11)

4.1一般规定 (11)

4.2化学品回收设备 (11)

4.3化学品回收管道 (12)

5化学品监控及安全系统 (13)

5.1一般规定 (13)

5.2监控与安全设备 (13)

5.3监控与安全系统 (14)

6相关专业设计 (16)

6.1建筑结构 (16)

6.2电气与仪表控制 (17)

6.3给水排水及消防 (18)

6.4通风与空气调节 (19)

7工程施工及验收 (21)

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7.1一般规定 (21)

7.2设备、材料进场验收 (21)

7.3设备安装 (22)

7.4化学品供应管道安装 (23)

7.5双层管道的施工安装 (24)

7.6酸碱类化学品管道内管焊接安装 (26)

7.7溶剂化学品管道安装 (26)

7.8废液管道施工 (28)

7.9管道设备标识 (28)

7.10管路与系统检测 (29)

7.11改建工程的施工 (30)

7.12工程验收 (30)

本规范用词说明 (33)

引用标准名录 (34)

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1总则

1.0.1为使电子工厂化学品供应系统、化学品回收系统及其配套装置的工程设计、施工及验收，贯彻国家工程建设的政策方针，确保工程安全可靠、节约能源、保护环境、技术先进、经济适用，制定本规范。

1.0.2本规范适用于电子产业中的集成电路、平板显示器件和太阳能电池等电子工厂生产工艺中的化学品供应系统、化学品回收系统的新建、改建、扩建工程的设计、施工及验收。

1.0.3本规范不适用于电子工广中的化学品库房、设备清洗、废水处理、纯水制备、废气处理等生产辅助和公用设施系统的化学品系统工程的设计、施工及验收。

1.0.4电子工厂化学品系统工程的设计、施工及验收，除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。

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2术语、缩略语

2.1术语

2.1.1化学品系统chemicalsystem

电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品系统的统称。

2.1.2化学品供应系统chemicalsupplysystem

电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品供应系统管道与设备的统称。

2.1.3化学品回收系统chemicalreclaimingsystem

电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品回收系统管道与设备的统称。

2.1.4化学品槽车chemicallorry

电子工厂中用于运送大用量化学品的专业车辆。

2.1.5化学品桶槽chemicaleontainer

电子工厂中用于储存化学品的小容积容器，放置在化学品储存、分配间的化学品单元内部。

2.1.6化学品储罐chemicalstoragetank

电子工厂中用于储存化学品的大容积容器，固定布置在化学品储存、分配间内。

2.1.7阀门箱valvemanifoldbox(VMB)

指化学品通过供应管道可同时供应两台或以上的生产设备的阀门操作箱。

2.1.8分支阀箱teebox(TB)

化学品供应系统中供应两个或以上的阀门箱的管道分配箱。

2.1.9扩充阀箱futureteebox(FTB)

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化学品供应系统中用于系统扩充的设置于系统末端的阀箱。

2.1.10取样阀箱samplingbox(SB)

指化学品管道上用于化学品取样的阀门箱体。

2.1.11泄漏探测器leakagedetecto