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《热加工工艺》2018年11月第47卷第22期

等离子物理气相沉积设备研究及发展现状

苏育民，王伟平，何箐

(中国农业机械化科学研究院北京金轮坤天特种机械有限公司，北京100083)

摘要：热喷涂技术是表面工程领域一项重要的分支，在高性能涂层制备中已经得到越来越广泛的应用，特别在制

备具有优良特性的热障涂层(ThermalBarrierCoatings，TBCs)中发挥重要作用。等离子物理气相沉积(Plasma

Spray-PhysicalVaporDeposition，PS-PVD)是基于低压等离子喷涂发展的一种快速多相调控涂层制备技术，可获得薄

膜、致密涂层、柱状晶结构涂层。PS．PVD的工艺设备制造是一大难题，国外发展尚不足十年，我国的PS．PVD设备都来

自进口，国内开展了相关设备的探索工作。本文从PS．PVD工艺的发展历程人手，重点阐述PS．PVD设备的基本构造及

关键技术。最后。对其发展和应用前景进行展望。

关键词：热障涂层；等离子物理气相沉积；喷涂设备

DOI：10．14158／j．cnki．1001-3814．2018．22．005

中图分类号：TG178文献标识码：A文章编号：1001—3814(2018)22．0021—06

ResearchandDevelopmentofPlasmaPhysicalVaporDepositionEquipment

SUYumin，WANGWeiping，脏Qing

(ChineseAcademyofAgriculturalMechanizationSciences，BeijingJinlunkuntianSpecialMachineCo．，Ltd．，Beijing100083，

China)

Abstract：Thermalsprayingtechnologyisanimportantbranchofsurfaceengineeringandhasbeenwidelyusedinhigh

performnacecoatingpreparation．Especiallyinthep~praationofexcellentpropertiesofthermalbarriercoatings(TBCs)play

naimportantrole．PlasmaSpray-PhysicalVaporDepositionOs—PVD)isafastmulti—phasecontrolledcoatingpreparation

technoloygbasedonlowpressureplasmaspraying．111infilm．densecoatingandcolumnarc~smlstructurecoatingcanbe

obtained．PS-PVDprocessequipmentmanufacturingisabigproblem．Foreigndevelopmentisstilllessthantenyears，and

Chnia’SPS·PVDequipmentareimported．Chinacarriedouthteexplorationofrelatedequipment．Thispaperstartswithhte

developmentprocessofPS-PVDtechnoloyg，andexpatiatesonhtebasicstructureandkeytechnoloygofPS—PVDequipment．

Fnially，itsdevelopmentandapplicationprospectsalelookedahead．

Keywords：ThemralBarrierCoatings；PlasmaPhysicalVaporDeposition；SprayingEquipment

热障涂层是一种附着在高温结构材料表面以提气相沉积技术为主。

高基体耐温性和使用寿命的一种热防