薄膜晶体管的结构与设计.pptVIP

glass1PEP栅线——CDEMoWCDE:使用的气体为CF4(125sccm)+O2(375sccm)；功率:800W，压力:30Pa；刚好刻蚀+O/E10%；掺氧气的目的是增加F*游离基的生成效率。主要反应：Mo+6F*→MoF6W+6F*→WF6CxHyOz+O*→COCxHyOz+F*→HF*第30页，共80页，星期日，2025年，2月5日glassgateCsgate1PEP栅线——去胶去胶：二甘醇二丁醚65wt%乙醇胺35wt%喷淋去胶、超声、水洗、干燥、O3灰化O3灰化的原理：用O3吹基板，O3与光刻胶反应生成挥发性的分子（CO2、H2O）而除去。*第31页，共80页，星期日，2025年，2月5日glasstext1PEP栅线——O/S检查检查标准：一条线两端的电阻大于40KΩ以上，认为是断线，正常是5KΩ~15KΩ程度；两条线间的电阻值测定在40KΩ以下，认为是短路，