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第54卷第3期2025年2月
热加工工艺
HotWorkingTechnology
ISSN1001-3814CN61-1133/TG
DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.rjggy@
热处理温度对磁控溅射氧化钇薄膜形貌及物相的影响
陈浩1,2,曹振亚1,2,姜志忠1,2,孙嘉隆1,2
(1.中国科学院合肥物质科学研究院核能安全技术研究所,安徽合肥230031;2.中国科学技术大学研究生院科学岛分院,安徽合肥230026)
摘要院采用射频磁控溅射方法在短钨纤维表面制备Y2O3薄
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