第四章电容式传感器.pptVIP

4.4.4寄生电容的影响3.整体屏蔽法所谓整体屏蔽法是整个桥体（包括供电电源及传输电缆在内）用同一个屏蔽壳保护起来，正确选择接地点可减小寄生电容的影响和防止外界的干扰。如图所示，是差动电容式传感器交流电桥所采用的整体屏蔽系统。4.4影响精度的因素及提高的措施*第62页，共113页，星期日，2025年，2月5日图4.144.4影响精度的因素及提高的措施*第63页，共113页，星期日，2025年，2月5日4.4.5防止和减小外界干扰①屏蔽和接地：用良导体做传感器壳体，将传感元件包围起来，并可靠接地；用金属网把导线套起来，金属网可靠接地；双层屏蔽线可靠接地；传感器与电子线路前置级一起装在良好屏蔽壳体内，壳体可靠接地等等。②增加原始电容值，降低容抗。③导线间的分布电容有静电感应，因此导线和导线要离得远，线要尽可能短，最好成垂直排列，若必须平行排列时，可采用同轴屏蔽线。4.4影响精度的因素及提高的措施*第64页，共113页，星期日，2025年，2月5日4.4.5防止和减小外界干扰④尽可能一点接地，避免多点接地。地线要用粗的良导体和宽印刷线。⑤尽量采用差动式电容传感器，可减小非线性误差，提高灵敏度，减小寄生电容的影响以及减小干扰。4.4影响精度的因素及提高的措施*第65页，共113页，星期日，2025年，2月5日4.5容栅式传感器容栅式传感器是在变面积式电容传感器的基础上发展起来的一种新型传感器。它不仅具有电容式传感器的优点，又具有因多极电容带来的平均效应，使其抗干扰能力强，精度高，对刻制和安装精度要求不高，量程大（可达1m），是一种很有发展前途的传感器。现已应用到数显卡尺，测长机等数显量具。4.5容栅式传感器*第66页，共113页，星期日，2025年，2月5日4.5容栅式传感器BOWERS/SYLVAC卡钳采用SYLVAC数显，具有大显示屏，公/英制转换和预置功能，标准配置为硬质合金测头。SYLVACUL系列大型数显卡尺有五种型号，卡尺横梁的材质为复合型，结构稳固、重量轻。在测量大规格和小规格工件时，有极好的平衡性。4.5容栅式传感器*第67页，共113页，星期日，2025年，2月5日4.5容栅式传感器4.5.1容栅式传感器基本类型及工作原理4.5.2栅状极片的几种结构形式4.5.3容栅式传感器的测量电路4.5容栅式传感器*第68页，共113页，星期日，2025年，2月5日4.5.1容栅式传感器基本类型及工作原理容栅式传感器有长容栅和圆容栅两种，它们的结构原理如图所示。4.5容栅式传感器*第69页，共113页，星期日，2025年，2月5日4.5.1容栅式传感器基本类型及工作原理1.长容栅如图(a)所示，在它们的A、B面上分别印制（或刻划）一系列相同尺寸、均匀分布并互相绝缘的金属（如铜箔）栅状极片。将定尺和动尺的栅极面相对放置，其间留有间隙，形成一对对电容（即容栅），这些电容并联连接，若忽略边缘效应，其最大电容量为式中，n为动尺栅极片数；b为极片的宽度；a为每对电容相互覆盖的长度。4.5容栅式传感器*第70页，共113页，星期日，2025年，2月5日4.5.1容栅式传感器基本类型及工作原理2.片状圆容栅如图(b)所示。它由同轴安装的固定圆盘1和可动圆盘2组成，A、B面上的栅极片制成辐射的扇形，尺寸相同，均匀分布，并互相绝缘。其工作原理与长容栅相同，最大电容量为式中，r1为内径；r2为外径；α为每对电容相互覆盖的角度。4.5容栅式传感器*第71页，共113页，星期日，2025年，2月5日4.5.1容栅式传感器基本类型及工作原理3.柱状圆容栅如图(c)所示。它由同轴安装的定子（圆套）1和转子（圆柱）2组成，在它们的内、外柱面上刻制一系列宽度相等的齿和槽，因此也称为齿形传感器。当转子旋转时就形成了一个可变电容器：定子、转子齿面相对时电容量最大，错开时电容量最小。其电容量计算公式复杂。4.5容栅式传感器*第72页，共113页，星期日，2025年，2月5日4.5.1容栅式传感器基本类型及工作原理对长容栅或片状圆容栅，其最小电容量理论上为零，实际上为固定电容C0，称为容栅的固有电容。当动尺平行于定尺移动时（或固定圆盘相对于可动圆盘转动时），每对电容的相互遮盖长度a（或相互覆盖角度α）将由大变小、由小变大而呈周期性变化，电容量也随时间相应周期性变化，如图（d）所示。经