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硅微机械加工技术
SU-8负胶在MEMS中的应用
SU-8的特点低成本负胶可用于MEMS相对简单的制作工艺厚度变化范围大7500A-450um电镀金属等可以形成各种结构坚膜后的胶可以作为阻挡层用于90°C的KOH、FeCl3溶液中的腐蚀可以作为DRIE的阻挡膜ShellChemical销售粘度可控制-EPON?ResinSU-8加入丁内脂（GBL,gamma-butyrolacton）
SU-8胶应用工艺旋转涂胶，1000RPM前烘。对100um厚的胶，95oC热板烘15分钟暴光。对波长365nm,剂量300~400mJ/cm2后烘。95°C,15min显影。在PGMEA中15min用异丙醇漂洗用等离子去胶，或热NMP(1methyl2pyrodidon)坚膜。200°C,30min
SU-8涂胶厚度与转速的关系GBL（gamma-butyrolacton）---丁内脂
机械特性
磨擦系数=0.19,@10RPMwithaloadof10g弹性模量=4.02Gpa高纵横比14.5
举例（1）SU-8胶齿轮，厚450um200um厚测试结构
谢谢大家！ThankYou！
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