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洁净室照明技术规范
洁净室照明系统作为维持洁净环境功能与人员操作安全的关键设施,其设计、安装及维护需严格遵循技术规范,确保照明质量满足工艺要求、人员健康及洁净度控制目标。以下从光源选择、照度标准、均匀度控制、眩光限制、色温与显色性、应急照明设计、安装要求及维护管理等方面展开具体技术要求。
一、光源选择
洁净室光源需具备低发尘、低产热、抗腐蚀、长寿命及符合工艺特殊需求的特性。优先选用发光二极管(LED)光源,因其具有以下优势:
1.低发尘性:LED光源无灯丝结构,无传统荧光灯的汞蒸气泄漏风险,且封装材料致密,运行过程中无颗粒物脱落,符合ISO14644洁净度等级要求;
2.低热辐射:LED光电转换效率高(≥80%),发热集中于散热体,表面温度≤50℃(环境温度25℃时),避免因高温导致洁净室气流扰动或局部区域微环境变化;
3.长寿命与稳定性:LED额定寿命≥50000小时(光衰≤30%),远超荧光灯(8000-12000小时),减少频繁更换灯具对洁净室的污染风险;
4.光谱可控性:可定制可见光波段(400-700nm)输出,避免紫外线(400nm)或红外(700nm)辐射对敏感工艺(如生物制剂、半导体光刻胶)的影响。
对于有防爆需求的洁净区域(如化学制药车间),需选用防爆型LED灯具,符合GB3836.1-2010防爆标准,外壳防护等级≥IP65,电路采用本质安全设计。
禁止使用白炽灯、高压汞灯等发光效率低、产热高的光源;荧光灯仅允许在无工艺敏感的辅助区域(如更衣室、走廊)使用,且需采用封闭式结构,避免玻璃碎片或汞泄漏污染。
二、照度标准
洁净室照度应根据工艺等级、操作类型及区域功能划分确定,具体要求如下:
1.工艺操作区:
-ISO1-ISO4级(超净室,如半导体晶圆制造、生物安全实验室):工作平面(距地面0.8m高度,下同)平均照度≥750lx,关键工位(如显微镜操作、精密装配)局部照度≥1500lx;
-ISO5-ISO6级(百级至千级,如无菌制剂灌封、电子元件组装):平均照度≥500lx,关键工位局部照度≥1000lx;
-ISO7-ISO8级(万级至十万级,如普通制剂生产、包装):平均照度≥300lx,关键工位局部照度≥500lx;
2.辅助区域:
-走廊、更衣室、缓冲间等非关键区域:平均照度≥200lx;
-设备维修区、仓储区:平均照度≥150lx;
3.特殊工艺要求:
-颜色识别敏感区域(如药品外观检查、纺织染色):照度需≥1000lx,且需配合高显色性光源(详见“色温与显色性”章节);
-光刻工艺间(半导体制造):需避免365nm(i线)、405nm(h线)、436nm(g线)等特定波长光线,光源光谱需经滤光处理,确保目标波长辐射强度≤1μW/cm2。
照度测量应在洁净室静态(无生产人员,设备正常运行)条件下进行,使用精度≥±3%的数字式照度计(如TES1339R),测量网格间距≤1m×1m(关键区域≤0.5m×0.5m),取各测点平均值作为最终照度值。
三、照度均匀度控制
为避免视觉疲劳及局部阴影对操作的影响,洁净室工作平面照度均匀度(最小照度与平均照度的比值)需满足以下要求:
-工艺操作区:均匀度≥0.7(关键工位≥0.8);
-辅助区域:均匀度≥0.6。
实现均匀度目标的技术措施包括:
1.灯具布局优化:采用等距棋盘式排布,灯具间距与安装高度比(S/H)≤1.5(LED筒灯)或≤1.2(条形灯),避免因间距过大导致暗区;
2.配光曲线选择:优先选用蝙蝠翼型配光(半光强角≥60°),光线分布更均匀;对称型配光(如广照型)适用于走廊等狭长区域;
3.反射面处理:洁净室墙面、顶棚应采用漫反射材料(反射率≥0.8),地面反射率≥0.3,通过二次反射提升均匀度。
四、眩光限制
眩光会导致视觉不适、注意力分散,甚至影响操作精度,需通过以下指标与措施控制:
1.统一眩光值(UGR):
-工艺操作区:UGR≤19(舒适级);
-辅助区域:UGR≤22(可接受级);
2.限制措施:
-灯具遮光角:嵌入式灯具开口向下时,遮光角≥15°;吸顶式灯具出光口与视线夹角≥45°(人员正常站立时视线高度1.6m);
-漫射处理:灯具表面采用乳白PC罩或微棱镜扩散板(透光率≥85%),避免光源直射人眼;
-亮度控制:灯具表面亮度≤500cd/m2(工艺操作区)或≤1000cd/m2(辅助区域),可通过增加光源数量、降低单灯功率实现。
五、色温与显色性
1.色温选
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