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SOI功率器件：从研制技术到可靠性的全面解析与展望

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代半导体领域，功率器件作为核心部件，广泛应用于电力电子、通信、汽车电子、航空航天等众多关键领域，其性能的优劣直接影响着整个系统的效能与可靠性。随着科技的飞速发展，各应用领域对功率器件的性能提出了越来越严苛的要求，如更高的功率密度、更低的能耗、更强的抗辐射能力以及更好的高温稳定性等。绝缘体上硅（Silicon-On-Insulator，SOI）功率器件应运而生，凭借其独特的结构和性能优势，成为了半导体功率器件领域的研究热点与发展方向。

SOI功率器件采用了在顶层硅和背衬底之间引入一层埋氧化层的特殊