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摘要
摘要
近年来,随着人工智能、新能源汽车、航空航天等领域的迅猛发展,以IGBT、
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靠及低成本提出了更高要求。氮化硅(SiN)陶瓷基板因其高热导率、低介电常数、
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Si
无毒以及热膨胀系数与单
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