第5章 压电式传感器.pptVIP

第1页，共40页，星期日，2025年，2月5日第5章压电式传感器主要内容1.压电效应2.压电材料3.压电元件结构4.等效电路与测量电路5.压电传感器的应用第2页，共40页，星期日，2025年，2月5日第5章压电式传感器概述压电式传感器是一种典型的发电型传感器，以电介质的压电效应为基础，外力作用下在电介质表面产生电荷，从而实现非电量测量。压电式传感器可以对各种动态力、机械冲击和振动进行测量，在声学、医学、力学、导航方面都得到广泛的应用。第3页，共40页，星期日，2025年，2月5日第5章压电式传感器概述压电陶瓷位移器压电陶瓷超声换能器压电秤重浮游计压电加速度计压电警号第4页，共40页，星期日，2025年，2月5日第5章压电式传感器5.1压电效应某些电介质（晶体）当沿着一定方向施加力变形时，内部产生极化现象，同时在它表面会产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又重新恢复不带电状态；当作用力方向改变后，电荷的极性也随之改变；这种现象称压电效应。第5页，共40页，星期日，2025年，2月5日第5章压电式传感器5.1压电效应???压电效应是可逆的在介质极化的方向施加电场时，电介质会产生形变，将电能转化成机械能，这种现象称“逆压电效应”。所以压电元件可以将机械能——转化成电能也可以将电能——转化成机械能。?????压电元件机械能电能第6页，共40页，星期日，2025年，2月5日石英晶体无体积变形第5章压电式传感器5.1压电效应第7页，共40页，星期日，2025年，2月5日压电材料包括：石英晶体、压电陶瓷、高分子材料 及压电半导体。石英晶体：SiO2,铌酸锂(LiNbO2)，主要是单晶，压电系数较低。压电陶瓷：PZT，PWN，人工制造的多晶。压电系数较高,为石英晶体的几十到几百倍。高分子材料：PVF、PVDF、PVC，柔软，不易碎，可防水;可制成薄膜及套管状。压电系数较压电陶瓷高几十倍。压电半导体:ZnSGaAs,易于集成一体化第5章压电式传感器

5.2压电材料

第8页，共40页，星期日，2025年，2月5日第5章压电式传感器5.2压电材料

5.2.1石英晶体压电晶片按特定方向切片人工合成水晶第9页，共40页，星期日，2025年，2月5日第5章压电式传感器5.2压电材料

5.2.1石英晶体自然界许多晶体具有压电效应，但十分微弱，研究发现石英晶体和铌酸锂是优能的压电材料。????外形结构LhbL第10页，共40页，星期日，2025年，2月5日第5章压电式传感器5.2压电材料

5.2.1石英晶体?????压电元件受力后,表面电荷与外力成正比关系:d为压电系数在X轴方向施力时,产生电荷大小为:在Y轴方向施力时,产生电荷大小为:压电系数d11=d12为常数l、b、h是晶体切片几何尺寸(长、宽、厚)第11页，共40页，星期日，2025年，2月5日第5章压电式传感器5.2压电材料

5.2.1石英晶体石英晶体压电模型第12页，共40页，星期日，2025年，2月5日第5章压电式传感器5.2压电材料

5.2.1石英晶体石英晶体的上述特征与内部分子结构有关：当晶体不受力时F=0，正负离子分布在六边形顶角，电偶极矩，晶体呈中性；当晶体受沿X轴方向的应力时，X方向压缩形变，电偶极矩在X轴的正方向出现正电荷；当晶体受沿Y轴方向的应力时，Y方向压缩形变，电偶极矩在X轴的正方向出现负电荷；第13页，共40页，星期日，2025年，2月5日第5章压电式传感器5.2压电材料

5.2.1石英晶体纵向压电效应：在X轴方向上施加力F，在YZ面上会产生电荷。横向压电效应：在Y轴方向施加力F，YZ面产生电荷，方向相反。在Z轴方向施加力无电荷产生