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《热加工工艺》2014年3月第43卷第5期
·特约稿件·
坩埚形状对多晶硅定向凝固热流场的影响
罗玉峰。饶森林，张发云，彭华厦，王发辉
f1．南昌大学机电工程学院，江西南昌330031；2．新余学院新能源科学与工程学院，江西新余338004；3．江西省
高等学校硅材料重点实验室，江西新余338004)
摘要：采用ComsolMultiphysics模拟软件研究了三种不同形状的坩埚(圆形、底部凹形及倒锥形)对多晶硅定向凝
固过程中热场及流场的影响。结果显示：圆形和底部凹形坩埚内熔体的热场差异不大，而与这两种坩埚相比，倒锥形的
坩埚可以得到更加均匀的热场分布及平直的固液界面；三种坩埚内熔体底部及侧壁区域的热对流变化基本相同，但熔
体中心区域不同；圆形及底部凹形坩埚内中心区域的热对流较弱，而倒锥形坩埚内熔体中心区域的热对流较强，这在一
定程度上有利于熔体内杂质的排出。
关键词：多晶硅；定向凝固；热场；速度场；数值模拟
中图分类号：TG244文献标识码：A文章编号：1001-3814(2014)05-0001-04
InfluenceofCrucibleShapeonThermalFieldandFlowFieldDuring
DirectionalSolidificationofPolysilicon
LU0Yufeng，RA0Senlin，zHANGFayun2,，PENGHuaxia，WANGFahui~
(1．MechanicalElectronicCollege，NnachnagUniversity,Nnachang330031，China；2．InstituteofNewEnergySciencenad
Engineering，XniyuCollege，Xniyu338004，China；3．KeyLaboratoryofUniversiytniJinagxiProvinceforSiliconMaterials，
Xinyu338004，China)
Abstract：Theimpactsofthreecurcibleswithdifferentshapes(circular，concaveaswellasinvertedconica1)onthermal
fieldnadflowfieldduringdirectionalsolidificationofpolysiliconweresutdiedbyusingComsolMultiphysicssoftware．The
resultsshowhtathtedifferencesofhtehtemralfieldofmeltinsidehtecurcibleswithroundandbottomconcaveraenot
obvious．However，compared、】l，itllhtetwokindsofcrucible，invertedconicalcurcibleCnaachievemoreevenhtermalfield
distributionnadflatsolidfluidniterface．Heatconvectionarebasicallyhtesameinhteregionsofbottomnadsidewallofhte
meltnisidethreeknidsofcrucible，butitisnotdifferentnihtecenrtalregions．Heatconvectionisfeebleinhtecentralregions
ofcirculraandconcavecurcibles，however，itissrtongernihteinvertedconicalcurcible，whichisbeneficialtohtedischrage
ofhtemeltinpuriyttoacertainextent．
Keywords：polysilicon；directionalsolidification；htemralfield；
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