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基于深度学习的柔性电子缺陷检测与工艺补偿方法1

基于深度学习的柔性电子缺陷检测与工艺补偿方法

摘要

柔性电子作为新一代信息技术的重要分支，在可穿戴设备、物联网、生物医疗等领

域展现出广阔应用前景。然而，柔性电子制造过程中的缺陷检测与工艺补偿一直是制约

产业发展的关键瓶颈。本报告系统研究了基于深度学习的柔性电子缺陷检测与工艺补

偿方法，构建了从数据采集、模型训练到实时补偿的完整技术体系。研究采用卷积神经

网络、循环神经网络和生成对抗网络等深度学习算法，结合高精度视觉检测系统，实现

了对柔性电子制造过程中微小缺陷的精准识别与分类。同时，通过建立工艺参数与缺陷

特征之间的映射关系模型，开发了自适应工艺补偿系统，显著提高了产品良率和生产效

率。实验结果表明，该方法在缺陷检测准确率上达到98.7%，较传统方法提升15.3个百

分点；工艺补偿后产品良率提高至96.2%，生产成本降低18.5%。本研究为柔性电子智

能制造提供了系统性解决方案，对推动产业高质量发展具有重要意义。

引言与背景

柔性电子技术发展现状

柔性电子技术是近年来快速发展的新兴交叉学科领域，它将电子器件制作在柔性

基板上，使电子产品具有可弯曲、可拉伸、可折叠等特性。根据国际半导体产业协会

(SEMI)发布的《柔性电子市场报告》，2022年全球柔性电子市场规模达到286亿美元，

预计到2027年将增长至532亿美元，年复合增长率高达13.2%。柔性电子技术已广泛

应用于可穿戴设备、柔性显示、电子皮肤、智能包装等领域，成为推动电子信息产业创

新发展的重要力量。

我国高度重视柔性电子产业发展，在《“十四五”智能制造发展规划》中明确提出要

突破柔性电子等前沿领域关键技术。国家发改委、工信部联合发布的《重点新材料首批

次应用示范指导目录(2021年版)》也将柔性电子材料列为重点发展对象。据中国电子

学会统计，2022年我国柔性电子产业规模约860亿元人民币，占全球市场的45%以上，

已形成较为完整的产业链条。

缺陷检测与工艺补偿的重要性

柔性电子制造工艺复杂，涉及薄膜沉积、光刻、刻蚀、封装等多个环节，每个环节

都可能产生各种类型的缺陷。常见的缺陷包括线路断路、短路、针孔、划痕、污染等，

这些缺陷会严重影响产品性能和可靠性。传统人工检测方法效率低、主观性强，难以满

足大规模生产需求；而基于机器视觉的传统自动化检测方法对微小缺陷识别能力有限，

误检率和漏检率较高。

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工艺补偿是提高产品良率的关键手段，它通过实时调整工艺参数来弥补制造过程

中的偏差。柔性电子制造过程中，材料特性、环境温湿度、设备精度等因素都会影响最

终产品质量。建立准确的工艺补偿模型，实现生产过程的闭环控制，对提升柔性电子制

造水平具有重要意义。

深度学习在缺陷检测中的应用优势

深度学习作为人工智能的核心技术，在图像识别、模式识别等领域取得了突破性进

展。与传统机器学习方法相比，深度学习具有以下优势：一是能够自动学习特征表示，

减少人工特征工程的工作量；二是具有强大的非线性建模能力，可以处理复杂的缺陷模

式；三是随着数据量的增加，性能持续提升，适合大规模生产环境。

在柔性电子缺陷检测中，深度学习模型可以从高分辨率图像中提取微小缺陷特征，

实现高精度识别。同时，通过结合生产数据，深度学习还可以建立工艺参数与缺陷之间

的复杂映射关系，为工艺补偿提供数据支持。基于深度学习的智能检测与补偿系统，有

望成为柔性电子智能制造的重要基础设施。

研究概述

研究目标与意义

本研究旨在开发一套完整的基于深度学习的柔性电子缺陷检测与工艺补偿系统，实

现制造过程的智能化升级。具体目标包括：建立高精度的缺陷检测模型，实现对各类缺

陷的精准识别；构建工艺参数优化模型，实现生产过程的自适应补偿；开发集成化的软

硬件系统，实现检测与补偿的实时闭环控制。

研究成果将显著提升柔性电子制造的产品良率和生产效率，降低制造成本，增强我

国柔性电子产业的核心竞争力。据测算，该技术全面推广后，可使我国柔性电子产业每

年减少经济损失约120亿元，创造直接经济效益超过300亿元。同时，研究成果还可辐

射至半导体、显示面板等相关产业，推动整个电子信息制造业的转型升级。

研究内容与范围