TCEMIA-光伏电池片制程用石英管.pdfVIP

ICS27.160

F12

团体标准

T/CEMIAXXXXX—2021

光伏电池片制程用石英管

Quartztubingforphotovoltaiccelldiffusionprocess

征求意见稿

本稿完成日期：2021年2月12日

2021-XX-XX发布2021-XX-XX实施

中国电子材料行业协会发布

T/CEMIAXXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本文件由中国电子材料行业协会提出并归口。

本文件主要起草单位：江苏太平洋石英股份有限公司。

本文件参与起草单位：沈阳汉科半导体材料有限公司、隆基绿能科技有限公司、晶科能源控股有限

公司、晶澳太阳能有限公司、沈阳汉科半导体材料有限公司、北京凯德石英股份有限公司、上海强华石

英有限公司。

本文件主要起草人：

I

T/CEMIAXXXXX—XXXX

光伏电池片制程用石英管

1范围

本文件规定了光伏电池片制程用石英管的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、

标志、包装、运输、贮存要求。

本文件适用于以高纯石英砂（二氧化硅）为原料，采用连续电熔工艺生产的石英管，并采用扩管工

艺生产的，用于光伏电池片扩散和PECVD用的，直径300-600mm的石英管。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T2828.1-2012计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划

GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法

GB/T4121石英玻璃热变色性试验方法

GB/T5949透明石英玻璃气泡、气线检验方法

GB/T10701石英玻璃热稳定性试验方法

GB/T12442石英玻璃中羟基含量检验方法

JC/T597半导体用透明石英玻璃管

JC/T2205石英玻璃术语

3术语和定义

GB/T2205界定的下列术语和定义适用于本文件。

3.1

气泡bubble

石英玻璃管壁内的圆形、椭圆形空穴。

[来源：JC/T2205-2014，4.1]

3.2

破皮气泡openbubble

暴露在石英玻璃管内或外表面的开口气泡。

[来源：JC/