基于纳米压痕载荷-位移曲线的磁控溅射镍涂层力学性能计算.pdfVIP

《热加工工艺》2017年4月第46卷第8期

基于纳米压痕载荷一位移曲线的磁控溅射镍涂层

力学性能计算

陈健l，朱迪一，田增l，谈淑咏二

(1．南京工程学院材料工程学院，江苏南京2ll167；2．江苏省先进结构材料与应用技术重点实验室，江苏南京

211167)

摘要：利用纳米压痕载荷一位移曲线计算了直流脉冲磁控溅射镍涂层的硬度、弹性模量和接触刚度。研究了溅射

功率和偏压对镍涂层结构和力学性能的影响。结果表明，随溅射功率的增大，镍涂层生长取向均呈无择优生长状态，弹

性模量、接触刚度变化不大，硬度先增加后减小。偏压增大会使镍涂层呈现明显的(111)取向生长，接触刚度增大，弹性

模量和硬度都先增大后减小。

关键词：镍涂层；纳米压痕；弹性模量；硬度；接触刚度

DOI：10．14158／j．cnki．1OO1—3814．2017．08．041

中图分类号：TG174文献标识码：A文章编号：1001．3814(2017)08-0159．03

CalculationofMechanicalPerformanceofMagnetronSputteredNiCoatings

BasedonNano-indentationLoad--displacementCurve

CHENJian，ZHUDi’，TIANZeng，TANShuyong

(1．SchoolofMaterialsScienceandEngineering，NanjingInstituteofTechnology，Nnajnig211167，China；2．JinagsuKey

LaboratoryofAdvnacedStructuralMaterialsandApplicationTechnoloyg，Nnajing211167，Chnia)

Abstract：Thehardness，elasticmodu~snadcontactstiffnessofDCmagnetronsputteredNicoatnigswerecalculated

basedonllnao-indenattionload-displacementcurve．Theeffectsofsputteringpowernadbiasonthestructurenadmechnaical

propertiesofhtecoatingwereinvestigated．Theresultsshowthatwimhtenicreaseofsputteringpower．thenickelcoatings

alwayspresentnopreferentialgrowth，nadtheelasticmodulusnadconatctstiffnessarealmostunchnaged，buthteharndess

firstlyincreasesnadhtendecreases．However，htenickelcoatingpresentsobviouspreferredorienattionof(111)wihtbias

increasnig，nadtheconatctstinffessincreases，andbohthteelasticmodulusandharndessnicreasefirstlynadhtendecrease．

Keywords：nickelcoating；nnao-indenattion；elasticmodulus；harndess；contactstinffess

金属镍涂层用途广泛，可用于其它金属的防锈高，沉积速度快，薄膜与基底间的附着力强，不易掉

涂层、电磁波屏蔽、电子线路、特种化学器皿、首饰装落。且薄膜质量好。

饰、手机和平板电脑保护玻璃的装饰等”【。而镍薄膜纳米压痕技