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氦检漏率计算
1.计算根据阿弗加德罗定律:Ｐ*Ｖ＝Ｇ∕Ｍ*ＲＴ
R134A R1234YF CO2
Ｐ 气体压力(Pa)-常压
Ｖ 气体体积(L) 22.40 22.40 22.40
Ｇ 气体质量(g) 2.00 2.00 2.00
Ｍ 分子量 102.03 114.04 44.00
Ｒ 常数(8.314Pa.m³/S) 8.314 8.314 8.314
Ｔ 标准状态下的温度(293K) 293.00 293.00 293.00
Ｐ*Ｖ= 泄漏的冷媒气体量（Pa.m³) 47.75 42.72 110.73
2.根据漏率公式：Ｑ=PV∕t 分流比/分压比的概念解释：
1.如上图所示，检测仪器和真空箱的连接方式存在三种，当为第一种检漏仪直接连接产品（产品所在真空箱）则不存在该概念。但是现在的氦检仪器为了加速检测效率，往往是多个泵组进行，分流比是由于检漏时检漏泵组和检漏仪泵组同时参与了对箱体抽空，所以氦气一部分被检漏泵抽走，只有一小部分氦气流往检漏仪，这两部分气体的比例和泵组的抽速成比例，称为分压比/分流比；
2.协众现有设备初步探测分流比的方法，可以将标准漏孔扔进设备检测，标准漏孔的标定漏率除以设备的检测读数，即可初步认定为该设备的分流比；
3.分流比不是一个固定值，随着检漏设备在生产过程中消耗折损，其准确度也会有所偏差，所以氦检设备的标准漏孔标定是必须定期进行的。
t 时间（1年=365*24*3600秒）000000
Q冷媒= 冷媒漏率(Pa.m³/S) 1.51E-06 1.35E-06 3.51E-06
3.检测冷媒漏孔时，要考虑同一漏孔对不同种类气体泄漏时，受气体粘性的影响的关系：ＱＡηＡ＝ＱＢηＢ
（1.动力粘度随温度变动2.也有核算不考虑此值的，因为影响偏小，氦检加严的情况下可以忽略）
η 气体的粘度(μPa.s) 12.100 11.468 14.93
ηHe 18.60
Ｑhe1= 冷媒漏率转换为氦漏率(Pa.m³/S) 9.85E-07 8.35E-07 2.82E-06
4.根据压力与漏率的关系式: 氦检压力与工作压力一致时，不需要考虑该关系；
Pi1 部件冲氦时高压侧压力（氦气检测压力）(bar) 15 8 8
Po1 部件氦检时低压侧压力（真空箱压力）(bar) 0 0 0
Pi2 部件工作高压侧压力（工作高压）(bar) 23 16 16
Po2 部件工作低压侧压力（大气压力）(bar) 1 1 1
Ｑhe2= 考虑检测压力下的氦漏率(Pa.m³/S) 2.31E-06 3.33E-06 1.12E-05
5.氦气浓度对检测的影响：Q3=Q2*α
α 设备设定氦气浓度（%） 85.00% 85.00% 85.00%
Q3 叠加氦气浓度后的氦漏率(Pa.m³/S) 1.96E-06 2.83E-06 9.55E-06
6.最终设定值氦检：λ=Q2*K
K 分流比（设备固有参数，设备厂家提供） 100.00 100.00 100.00
λ 氦检漏设备设定值(Pa.m³/S) 1.96E-08 2.83E-08 9.55E-08
备注：信噪比S/N是评判设备检漏精度的重要指标（一般氦检设备至少需要信噪比＞2，通俗易懂的说，需要测泄露为1*10-5Pa.m³/S的产品，那么真空箱本底值至少需要达到5*10-6Pa.m³/S，信噪比越高设备敏感度越高，误判越低。 氦检检测过程图
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