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绪论*⑦?平板显示器件液晶显示、等离子体显示和电致发光显示三大类平板显示器件所用的透明导电电极（ITO薄膜）。电致发光多层薄膜（包括ITO膜，ZnS：Mn等发光膜，Al电极膜等）组成的全固态平板显示器件及OLED显示器件。第30页，共38页，星期日，2025年，2月5日绪论*⑧?用ZnO、AlN等薄膜制成的声表面波滤波器。⑨?磁记录薄膜与薄膜磁头高质量和录象的磁性材料薄膜录音带与录象带；计算机数据存储的CoCrTa、CoCrNi等的薄膜软盘和硬盘；垂直磁记录中FeSiAl薄膜磁头等。⑩?静电复印鼓用Se-Te、SeTeAs合金薄膜及非晶硅薄膜。第31页，共38页，星期日，2025年，2月5日绪论*铁电存储器第32页，共38页，星期日，2025年，2月5日电子薄膜技术绪论*第1页，共38页，星期日，2025年，2月5日绪论*第一堂课主要内容课程情况介绍课程考核方式薄膜材料的定义薄膜技术的发展课程教学内容第2页，共38页，星期日，2025年，2月5日绪论*课程性质:微电子制造方向专业课课程特点:内容丰富、概念性记忆性强；理论与实践相结合通过对本课程的学习，能够掌握电子薄膜的主要制备技术及相关知识，为从事微电子、固体电子薄膜及相关领域的研究、设计和生产打下基础。课程简介第3页，共38页，星期日，2025年，2月5日绪论*总学时：48学时周学时：4学时课时安排：1-12周；周一5-6节、周四1-2节学分：3学分课外学时：12学时（6次课下作业）课程概况第4页，共38页，星期日，2025年，2月5日绪论*教材：《薄膜材料制备原理、技术及应用》唐伟忠著，冶金工业出版社，2003参考书：《薄膜技术与薄膜材料》田民波，清华大学出版社《薄膜材料与薄膜技术》郑伟涛，化学工业出版社《半导体薄膜技术与物理》叶志镇等，浙江大学出版社《MaterialScienceofThinFilms－DepositionStructure》M.Ohring，世图影印版教材及参考书第5页，共38页，星期日，2025年，2月5日绪论*第一堂课主要内容课程情况介绍课程考核方式薄膜材料的定义薄膜技术的发展课程教学内容第6页，共38页，星期日，2025年，2月5日绪论*1、上课时必须将手机关机或静音；2、上课不允许讲话，不允许做与本课程无关的事；3、有事提前向老师请假（开假条），课上随机点名；4、上课请杜绝睡觉；5、如果出现破坏教学恶劣的行为立即上报系或者学校给予处理；6、上课不需要带电脑！7、请每人准备一个作业本！（笔记）课堂要求希望：积极思考、踊跃发言意见要求及时反馈第7页，共38页，星期日，2025年，2月5日绪论*类别考核项目考核主要内容所占权重形成性考核平时成绩日常表现：迟到、旷课、纪律、态度、协作、交流迟到、早退一次扣2分，旷课一次扣4分。积极思考，踊跃回答问题，给予加分-作业满分为30分。共6次书面作业，每次作业满分为5分。30%期中考试满分为20分。考察范围：第1-4章知识点。限制性开卷考试20%终结性考核期末考试满分为100分。考察范围：课程全部知识点。限制性开卷考试！50%成绩评定作业成绩按作业上交的数量和质量进行计分。考试时间：期中：第7周；期末：第14或15周学院组织考试第8页，共38页，星期日，2025年，2月5日绪论*学习方法：以教材和课件内容为主，做好笔记，认真完成作业，养成良好的学习习惯：预习和复习。考试范围：教材相应内容+课件内容+部分补充知识！限制性开卷考试：每人只允许带一单张A4的辅助材料，要求全部手写，加贴、复印、缩印均无效第9页，共38页，星期日，2025年，2月5日绪论*第一堂课主要内容课程情况介绍课程考核方式薄膜材料的定义薄膜技术的发展课程教学内容第10页，共38页，星期日，2025年，2月5日绪论*Q：为什么要学习这么课程？薄膜材料应用的必要性了解薄膜的制备方法、生长机理、性能表征等1.什么是薄膜材料？2.薄膜材料的特殊性？3.薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支的原因？第11页，共38页，星期日，2025年，2月5日绪论*由单个的原子、离子、原子团无规则地入射到基板表面，经表