空间多路复用物体表面三维轮廓测量方法.pdfVIP

摘要

光学干涉测量是一种获取物体表面形貌特征的方法，其技术以被测对象的干涉图像作

为检测和信息传递的介质提取有价值的信息，并凭借非接触、高精度、高效率以及适用范

围广等优势特点，在精密测量、航空航天和船舶等领域的零部件检测得到了广泛应用。

然而传统的光学测量方法通常仅能对静态物体进行测量，本研究围绕光学三维表面快

速测量技术展开，提出了一种基于偏振调控的并行相移干涉测量方法，旨在实现实时、高

精度的三维形貌测量。具体工作内容包括以下几个方面：

(1)首先研究了空域相移干涉技术的原理，提出了一种结合偏振干涉和微偏振阵列的并

行干涉测量方法，通过琼斯矩阵对光的偏振态进行了描述。系统深入地研究了焦平面分离

原理，通过空间重采样产生了四帧子相移条纹图。针对恢复视场的需求，采用双三次插值

算法对偏振相机采集的子干涉图像进行了重建。并基于上述理论研究，实现了单次拍摄下

多帧相移干涉条纹图的高精度同步采集。

(2)以声场干涉测量为例，研究了干涉条纹图数据集的制作方法，仿真产生了干涉条纹

图，并针对光学干涉图像易受环境噪声干扰的问题，采用改进的BM3D方法实现了干涉图

的高效去噪。通过对比峰值信噪比（PSNR）、结构相似度（SSIM）、均方根误差（RMSE）

等图像质量评价指标，证明了其方法的有效性，最后针对散斑噪音的进一步抑制问题，本

研究通过构建专用训练数据集，训练了一种深度学习的去噪方法，实现了干涉图像散斑噪

音的高效去除。表明深度学习在降噪性能上显著优于传统滤波方法，能保留更多细节特征，

为后续的高精度干涉测量提供了重要保障。

(3)系统研究了并行干涉条纹图相位信息处理的关键方法。在此基础上，引入了同步解

调算法的对比实验，与四步相移算法相比，验证了其算法在解调精度、计算效率和抗干扰

性方面的性能。并基于光强传输方程（TIE）实现了非迭代式相位解包裹，解决了2π跳变

问题。最后，针对系统像差引起的相位畸变，采用主成分分析（PCA）方法进行补偿，通

过特征值分解有效抑制了Zernike像差的影响，建立了从解调到解包裹再到去畸变的完整相

位恢复流程。

(4)最后设计并搭建了迈克尔·逊和马赫·曾德尔偏振式并行干涉测量系统，通过对球

面镜、芯片、分辨率板和微透镜阵列进行实验，结果表明迈克尔·逊测量系统更适用于反

射表面测量，而马赫·曾德尔测量系统在透射物体测量中表现更优。由于测量样品：分辨

率板和MEMS芯片，的精度是纳米级别的，因此充分验证了该系统的高精度测量能力。

尽管本文的实验系统在当前阶段仍存在一定的技术局限性，还需进一步优化与完善，

但本文围绕三维表面快速测量建立的多项关键技术，通过理论仿真和实验验证证明是有效

的，为三维表面测量的理论研究和实际应用提供了途径，具有重要的科学价值和工程意义。

关键词：三维表面测量；图像去噪；相位解调；并行相移干涉技术

万方数据

Abstract

Opticalinterferometryisacriticaltechniqueforacquiringsurfacetopographyinformation,

utilizinginterferencepatternsasthemediumfordetectionanddatatransmission.Owingtoits

non-contactnature,highprecision,efficiency,andbroadapplicability,ithasbeenwidelyadopted

inprecisionmeasurement,aerospace,andmarinecomponentinspection.

However,conventionalopticalmeasurementmethodsaretypicallylimitedtostaticobjects.

Thisstudyfocusesonrapidthree-dimensionalsurfacemeasurementtechnologyan