基于点衍射干涉的三维形貌测量技术研究.pdfVIP

摘要

基于光学干涉法的三维测量技术因具有高精度、高灵敏度以及无损检测的特点，是目

前三维测量领域的研究热点。点衍射干涉测量法是目前球面、非球面光学元件超精面形检

测的新方法，该方法利用微米级小孔衍射产生近乎理想的球面波作为参考面，摆脱了参考

镜对传统干涉测量精度的限制，具有极高的检测精度。若能将基于点衍射的干涉技术扩展

应用到三维测量领域，将有望为超高精度的三维测量提供一种新途径。

本文以小区域漫反射物体为测试对象，提出基于点衍射干涉技术的三维形貌测量方法，

借助双光纤产生高精度的点衍射干涉条纹并投影于被测物体表面，通过对经被测物体高度

信息调制后的变形干涉条纹进行采集及处理，复原得到被测物体三维形貌信息。文中提出

了基于双光纤点衍射干涉法的三维测量具体光路，从理论和实验两方面开展了相关关键技

术及系统的研究，本文主要研究工作如下：

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（）研究了基于双光纤分光路可相移的点衍射干涉条纹投影三维测量光路，仿真分

析了光纤纤芯直径以及纤芯距离等参数对测量的影响，设计加工了单模分束光纤；探讨了

点衍射干涉三维测量实验系统的设计及构建，基于纤芯直径4μm，纤芯距离120μm光纤

搭建了实际点衍射干涉三维形貌测量系统。

（2）构建了测量系统的相位-高度复原模型，研究了三维形貌重构算法，基于仿真的

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七步相移干涉条纹投影图像对重构算法进行了验证，得到残差为10mm量级，验证了本

文重构算法的正确性及精度；探讨了所提测量系统结构参数的标定方法，分析了标定原理，

推导了具体的标定算法公式，在此基础上对相机畸变参数、干涉条纹投影系统物面距离L

以及条纹中心投射角θ进行了实际标定。

340mm

（）基于搭建的实验系统对一直径约的半球石膏模型三维形貌进行多次重复

性测量，结果表明被测物体中心高度标准差σ为0.0013mm，验证了实验系统可行且稳定

性良好；将本系统所测结果与商业化ATOSCompactScan2M三维扫描仪测量结果进行比

h

对，得到两方法测得形貌特征吻合度高，测量结果非常接近，两者中心高度仅相差

0.0002mm，两种方法测得被测物体某一中心截面的拟合高度曲线残差的峰-谷值(PV)为

0.0012mm，均方根值(RMS)为0.00028mm，进一步验证了实验系统的正确性及可靠性。

本文所提系统将点衍射干涉技术与三维测量技术相结合，具有高精度、无损伤测量的

优点，原理简单、易于实现，研究成果有望为实用点衍射干涉三维测量仪器的开发奠定一

定的理论及技术基础。

关键词：干涉测量；三维测量；光纤点衍射；条纹投影；相位-高度复原

本研究得到国家自然科学基金（编号资助。

Abstract

Three-dimensionalmeasurementtechnologybasedonopticalinterferometryisaresearch

hotspotinthefieldofthree-dimensionalmeasurementbecauseofitshighprecision,high

sensitivityandnon-destructivetesting.Pointdiffractioninterferometryisanewmethodfor

super-precisionsurfaceshapedetectionofsphericalandasphericopticalelements.Thismethod

usesmicron-scalepinholediffractiontogenerateanalmostidealsphericalwaveasareference

surface,whichgetsridofthelimitationofthereferencem