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COMSOLMultiphysics®等离子体建模
为什么选用COMSOLMultiphysics?
•多物理场
–耦合现象
•单物理场
–一个集成的环境——适用于各种不同的物
理场和应用
•适应性，无需用户子程序
–创建您自己的多物理场耦合
–键入非线性表达式、查找表，或函数调用
–直接基于方程的或选用户接口：代数方程、
PDE，以及ODE
–任意进行参数化定义
•高性能计算（HPC）
–多核多处理器
–集群
COMSOLV4.4产品库
COMSOLMultiphysics等离子体模块
什么是等离子体？
•定义
•等离子体是由带电粒子组成的导体，表现出中性和场的集体效应
•工业应用
•照明
•半导体
•军事
•涂层
•…
等离子体种类
•常见有以下这些等离子体类型：
•感应耦合等离子体（容易）
•直流放电（容易，磁场增加难度）建模
•微波等离子体（中等，ECR较难）难度
•电击穿（难）加大
•容性耦合等离子体（难）
•组合式ICP/CCP反应器（）
•上面这些类型的电磁场向电子传递能量的机理都不一样
等离子体模块为非核低温等离子体而设计（非平衡放电）
等离子体组成
•等离子体包含：
–电磁场（即时）
–电子能（小于纳秒）
–电子传递（纳秒）
–离子传递（微秒）
–激励物质传递（0.1毫秒）
–中性气体流动和温度（毫秒）
•各种不同组成的特征时间尺度跨度广泛，加大了等离子体
建模的难度
•等离子体模型的计算很花时间！
等离子体建模的其他困难
•空间难度大（需要解析空间电荷分离）
•自由度很大（很多物质）
•电子能和电磁场之间具有很强的耦合关系
•不太容易找到等离子体化学数据
•COMSOLMultiphysics等离子体模块使建模变得容易，
不过仍然需要一些专业知识
等离子体模块中的物理场接口
•飘移扩散
–计算任意类型的等离子体的电子密度和平均电子能
•重物质传递
–计算所有的非电子物质的质量守恒，包括带电、中性和电子激发物质
•静电
–计算电子和粒子之间由于空间电荷分离产生的静电场
•Boltzmann方程，两项近似
–计算电子能分布函数
•电路
–在等离子体模块中增加外电路
针对应用的物理场接口
•感应耦合放电
–用来研究由感应电流维持的放电现象，其中感应电
流通过频域求解
•直流放电
–用来研究静电场维持的放电现象
•微波等离子体
–用来研究电磁波维持的放电现象
•容性耦合放电
–用来研究随时间变化的静电场维持的放电现象
离散化
•有限元格式是所有等离子体
接口的缺省离散化格式
•以下几种类型可以考虑有限
体积法格式：
–直流放电
–容性耦合等离子体
•与此相关的选项位于高级设
定栏
理论
电子传递
•COMSOL求解一对描述电子密度和电子能密度的飘移扩散方
程
•传递属性可以是张量形式，或者是平均电子能和直流磁通密度
的函数
张量形式的电子传递属性
•等离子体模块可以使用张量形
式的电子迁移率、扩散率、能电子迁移率vs磁通密度
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